溅射镀膜技术的应用 1. 制备薄膜磁头的耐磨损氧化膜 硬盘磁头进行读写操作时与硬盘表面产生滑动摩擦，为了减小摩擦力及提高磁头寿命，磁头正向薄膜化方向发展。绝缘膜和保护膜(即AL 2 O 3 、SiO 2 氧化物薄膜)是薄膜磁头主要构成成份。对薄膜磁头的耐磨损膜的要求是耐冲击性好，耐磨性好，有适当的可加工性以及...
溅射 溅射(sputtering),也称溅镀(sputter deposition/coating),是一种物理气相沉积技术,指固体靶target(或源source)中的原子被高能量离子(通常来自等离子体)撞击而离开固体进入气体的物理过程。 溅射一般是在充有惰性气体的真空系统中,通过高压电场的作用,使得氩气电离,产生氩离子流,轰击靶阴极,被溅出的靶材料原子或分...
溅射工艺是以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。溅射只能在一定的真空状态下进行。原理 溅射工艺图如图1所示，溅射镀膜最初出现的是简单的直流二极溅射，它的优点是装置简单，但是直流二极溅射沉积速率低；为了保持自持放电，不能...
溅射沉积可以制备出高质量的薄膜和多层结构,用于制造集成电路和薄膜晶体管等微电子器件。通过溅射控制工艺,可以实现纳米尺度下的器件组装和微结构的精确控制。 另外,溅射还在光学技术中发挥重要作用。溅射薄膜具有优异的光学性能,可以用于制备各种光学元件,如反射镜、透镜和滤光片等。通过溅射技术,可以调控薄膜的折射率和...
溅射方法是一种利用溅射原理及技术处理加工材料表面的现代技术方法。溅射，也称阴极溅射，其基本原理是：在直流或射频高压电场的作用下利用形成的离子流轰击阴极靶材料表面，使离子的动能和动量转移给固体表面的原子，因化学键断裂而飞出(或称飞溅)。通常采用的轰击离子是隋性气体氩受高压电场的作用而电离，并形成具有...
1、定义:所谓溅射,就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下,形成气体等离子体(辉光放电),其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击,阳离子和靶材进行能量交换,使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出(其中逸出的还可能包含靶材离子)。这一整个的动力学过程,就叫做溅射。
溅射的AoE是一个圆心位于弹道击中被攻击目标位置的圆。DotA中所有的溅射伤害都根据距离圆心的大小，分有3个等级，从中心到边缘递减，也就是说范围是三个同心圆。下面是配上图片说明DotA里具体的数据和范围：黑龙 100% 伤害 50 AoE.50% 伤害 150 AoE.25% 伤害 250 AoE.龙骑士（2、3级变龙）100% 伤害 75 ...
溅射,这个名词在材料科学领域里可不简单,它是一种用来制备薄膜的技术,有着广泛的应用。简单来说,溅射就是一种利用带电粒子轰击靶材,使靶材表面的原子或分子逸出,并沉积在基底上形成薄膜的过程。想象一下,在一个真空的腔室里,充满了惰性气体(比如氩气),然后给这些气体加上高电压,它们就...
1. 磁控溅射PVD 🛡️:在金属薄膜PVD中占据主导地位,通过对平面型DCPVD的改进,磁控溅射利用磁体在靶材背面,形成交互的电磁场,延长电子的运动路径,从而提高等离子体的浓度。这种方法具有极高的沉积效率,能够控制大尺寸范围的沉积厚度,并实现精确的成分控制。磁控溅射PVD主要用于Al金属籽晶层和TiN金属硬掩膜。特别是对...