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1958年Hail等人发现潘宁放电真空计在测量真空时,真空计本身有一定的抽气作用,根据这一现象而发明了溅射离子泵,因此溅射离子泵又称潘宁泵。它是一种使用较广泛的清洁无油真空泵。离子泵的发明大大拓展了当时的抽气技术所能达到的真空度,使超高真空成为可能。
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在二极型溅射离子泵中，这种结构改进使得氩离子在撞击阴极后能直接弹性反射至阳极并被有效捕获，从而提升了对氩等惰性气体的抽速。▲ 溅射差异型阴极结构的局限 尽管溅射差异型阴极结构离子泵在抽除惰性气体方面表现出色，但抽除氢气的效果却不及钛阴极。这主要归因于钽的密度大于钛且晶格常数较小，不利于氢的扩散...