溅射离子泵工作原理 溅射离子泵是一种常用的高真空泵,它的工作原理如下: 1.溅射离子泵内部有一个相对真空的容器,容器内放置有一种或多种高蒸发性的物质,如钨丝、钛等。 2.接通电源后,通过电阻丝加热,在高温下,这些物质会迅速蒸发成气体。 3.蒸发的气体会在真空容器内迅速扩散并碰撞到容器内壁上的冷凝器上,...
它的工作原理是通过溅射离子的方式将气体分子从真空室中抽取出来,从而实现真空状态。本文将详细介绍溅射离子泵的工作原理。 一、溅射离子泵的组成 溅射离子泵主要由离子源、离子收集器和电源控制器三部分组成。离子源是溅射离子泵的核心部件,它包含一个或多个阴极和阳极。离子收集器是用于收集被离子化的气体分子的部件...
2工作原理图一溅射离子泵的工作原理图图二溅射离子泵的组合早兀1磁铁;2钛阴极:3阳极筒:4接被抽容器二级型溅射离子泵,其阴极由钛板组成,其阳极由多个不锈钢圆筒(或四方格、六方格)组成,放于两块阴极钛板之间,磁场方向与阴极板垂直。当阳极加上适当高压时(对阴极为正电位),在阳极小室内产生放电,这种放电在压力...
射离子泵又称潘宁泵, 顾名思义, 它是利用潘宁放电进行除气的。溅射离子泵是目前比较好的抽真空设备。接下来就来介绍下溅射离子泵结构特点及工作原理。一、溅射离子泵结构特点 主要由阳极、阴极、永磁铁和泵体四大部分组成。阳极是由多个不锈钢圆筒排列组成的蜂窝状结构, 阴极是两块平行的钛合金板, 将阳极夹在中间...
溅射离子泵属吸气离子泵之一种,其型式颇多,基本型是二极式。它由圆筒阳极和在其两端的两个相对的钛阴极组成。沿阳极筒轴向加一磁场。
离子泵的工作原理,在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板,并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动,使气体分子电离,电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中,电子交出能量,并逐渐向阳极移动。正离子则加速向 - 真空界的小学
钛泵和溅射离子泵的工作原理 钛泵的工作原理 真空的实质就是具有较低气体分子浓度的空间。因此,只要降低空间的气体分 子浓度就能获得真空,而不必有实际上的排气过程。钛泵正是基于此原理制造 的。通过加热、电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和 化学反应,使气体分子伴随钛原子一起沉积下来,从而...
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溅射离子泵的工作原理