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微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS...
MEMS微流控（microfluidics ）系统，就是一种流量控制，是精确控制和操控液体流动的装置，使用几十到几百微米尺度的管道，一般针对微量流体，用于生物医药诊断领域的高精度和高敏感度的分离和检测，具有样品消耗少、检测速度快、操作简便、多功能集成、体小和便于携带等优点。MEMS微流控是纯粹的机械结构，制作微流控...
微机械超声换能器(MUT)是利用MEMS技术制作的设备。主要分为电容式(CMUT)和压电式(PMUT)两种,各有优势。相比传统换能器,MUT体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活,并易于与电路集成。随着技术进步和产业链完善,MUT有望成为传统换能器的替代品。与传统换能器...
微机械结构的可偏转部件(诸如,声换能器的薄膜)可在固定(夹住)部分被夹住(即,固定)并且在可偏转部分可振动或偏转。 各种实施例的一方面在于能够通过在微观结构中(例如,在微观结构的功能区域中,例如在一些实施例中在微观结构的夹住区域或悬挂区域)使用柔软材料和/或柔软部分或区域来实现可移动(例如可偏转,例如可弯曲,...
微机械陀螺寻北仪可以用于地图绘制和测量,提高测量的精度和效率;在稳定平台中,微机械陀螺寻北仪可以用于平台的稳定和控制,提高平台的稳定性和精度;在交通领域中,微机械陀螺寻北仪可以用于车辆的导航和定位,提高交通的安全性和效率;在无人驾驶航空器和无人...
基于MEMS工艺微机械的失效测试主要借鉴IC器件,但其工作机理和工况条件与IC器件不尽相同,因此对基于MEMS工艺的微机械所特有的失效机理、检测手段等方面还需更进一步地研究。开发适用于基于MEMS工艺微机械失效分析的专用测试设备、建立通用的测试程序也是亟待解决的问题。