微机械陀螺仪,微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的 21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、
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微机械陀螺仪特点解析 2天前 一、结构特点 微机械陀螺仪是由微机械加工技术制造而成的,其结构主要由感应器、支撑结构、驱动电路等几部分组成。感应器是核心部件,是依靠微机械加工技术制造出的微小结构,能够感知姿态变化并转换为电信号。支撑结构是支撑感应器的基座,具有高强度和高稳定性。驱动电路是控制陀螺...