摘要 微机械陀螺仪组合的测试工装和交叉耦合的快速调整方法,测试工装主体为六面体,六面体上表面向内部凹陷形成一个长方形凹槽,微机械陀螺仪组合本体安装在所述的长方形凹槽内,长方形凹槽内部加工一个螺纹孔,用于安装固定螺杆;凹槽底面与组合本体安装面平行作为第一基准面(9),与第一基准面(9)垂直的凹槽一个侧...
摘要 本实用新型提供一种微机械陀螺仪的晶圆测试系统,所述晶圆测试系统包括:电源模块,用于输出电源信号;信号发生模块,用于产生扫频信号;信号传输模块,与所述电源模块、所述信号发生模块及待测微机械陀螺仪电连接,以将所述扫频信号和所述电源信号作为输入信号传输至所述待测微机械陀螺仪的驱动端,并接收所述待测微机械...
介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试
硅基陀螺仪的零偏稳定性计算值与温度基本呈正相关趋势且线性度较好,石英基陀螺仪与之相反。零偏稳定性值在温度循环交变的温度载荷下比在恒温载荷下大几十倍,结构设计和封装工艺等方面得到较好优化的陀螺仪可以有效避免这种负面影响。该研究为微机械陀螺仪零偏稳定性优化提供了对比测试数据和优化方向建议。 【总页数】...
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摘要 微机械陀螺仪组合的测试工装和交叉耦合的快速调整方法,测试工装主体为六面体,六面体上表面向内部凹陷形成一个长方形凹槽,微机械陀螺仪组合本体安装在所述的长方形凹槽内,长方形凹槽内部加工一个螺纹孔,用于安装固定螺杆;凹槽底面与组合本体安装面平行作为第一基准面(9),与第一基准面(9)垂直的凹槽一个侧面...