1第三章微机械加工技术基础微机械加工包括在硅片中制造出各种微细圆孔、锥孔、槽、台阶、锥体、薄膜片、悬臂梁等形态的构件,并可通过一定的工艺构成复杂的微机电系统。微机械加工技术是微机电系统技术重要的组成部分。微机械加工技术主要有: 体硅微机械加工技; 表面硅微机械加工技术; 键合技术和LIGA技术。2§1体...
第一、微型机械加工技术 随着微/纳米科学与技术(Micro/Nano Science and Technology)的发展,以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们认识和改造微观世界的一种高新科技。微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业,而又不扰乱工作环境和对象的特点,在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应用潜...
微喷射加工是一种利用高速喷射气流或液流进行微细加工的新型技术。该技术具有高加工精度、高效率、低成本等特点,适用于各种材料的微细加工。微喷射加工可分为气流喷射加工和液流喷射加工,其中气流喷射加工主要应用于微细孔洞的加工,液流喷射加工则适用于微细结构、微型零部件等的...
一、微细铣削技术 微细铣削技术是一种高精度加工方法,可用于制造微小器件和零件。该技术通过使用微型铣刀和高速旋转的工件,将材料逐渐削除,以达到所需的形状和尺寸。与传统的机械加工方法相比,微细铣削技术具有更高的精度和效率,并且可以应用于更广泛的材料。 二、电解加工技术 电解加工技术是...
微机械加工技术可以利用生物检测结构中的微型通道、微反应池等特点,制备出高灵敏度、高选择性的生物传感器。 三、微机械加工技术的优点 1.高灵敏度:微机械加工技术可以制备出非常小、纳米级别的机件,从而使传感器的灵敏度得到了极大的提高。 2.高精度:微机械加工技术可以通...
百度试题 题目简述微型机械加工技术的关键技术 相关知识点: 试题来源: 解析 微型机械加工技术是微型机械发展的关键基础技术,其包括微型机械设计技术、微细加工技术、微型机械组装和封装技术、微系统的表征和测量技术及微系统集成技术。 反馈 收藏
MEMS技术可以制造微型机械系统、微型传感器、微型执行器等多种微小设备和相应的处理电路。此外,微纳机械加工还可以制造微型光学元件、生物传感器以及纳米材料等。 二、技术特点 微纳机械加工的高精度和精确度,可以在微米和纳米尺度上精确控制材料的形状和结构,这使得制造微小器件和结构成为可能,如集成电路中的晶体管或...
另一个就是寻求固有制造技术的自身微细加工极限。探索有效实用的微细加工技术,并使其能在工业生产中得到应用。 微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点,在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应用潜力,受到世界各国的高度重视并被列为21世纪的关键技术之首。比如,美国宇航局...
微机械加工技术是目前研究的热点之一,将微机电系统技术与纳米制造技术结合起来,形成了具有新型优越性的微纳机械加工技术。微纳机械加工技术主要是指通过微纳电子技术和微纳制造技术制造微机械结构物件,其中主要有以下几种制造技术: 1.激光加工技术:激光加工技术是一种分子化技术,可将光束直接定向转化为热能,加热并气化...