本书的主要内容包括:(1)硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述;(2)硅的表面微机械加工技术;(3)LIGA工艺;(4)硅——硅直接键合工艺;(5)硅的干法腐蚀工艺及物理机制等,涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容,而且其内容经过多次修订,并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚,具有一定参考价值,适合MEMS领域工程...
《硅微机械加工技术》是2007年5月化学工业出版社出版的图书，作者是埃尔温斯波克。内容简介 英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法...
3.2.2 重掺杂硅自停止腐蚀机制 3.3 腐蚀速率与晶体取向的关系 3.3.1 硅晶向和晶面的表示方法 3.3.2 各向异性腐蚀的特点 3.3.3 各向异性腐蚀的机制 3.3.4 各向异性腐蚀剂腐蚀出微结构的特点 3.4 各向异性自停止腐蚀的方法 3.4.1 SiO2的腐蚀 3.4.2 重掺杂自停止腐蚀技术 ...
目前正在使用的硅基微机械加工技术有三种:体硅体微机械加工、表面微机械加工 、复合微机械加工。 1.1体硅微机械加工 这种加工是将整块材料,如单晶硅基片加工成微机械结构的工艺,与微电子生产中的亚微米光刻工艺比较,其工艺尺度相对较大而粗糙,线宽一般在几微米到几百微米之间。根据蚀刻方法的途径的差异,体硅微机械加...
单通道10 mm微机械薄膜变形镜(调焦器) 灵动智能光学(杭州)有限公司 一家专业的自适应光学和水下光学公司,一名知识传播者。 一、MMDM调焦器和A4EMS 图1:带和不带外壳的单通道微机械薄膜变形镜(又称离焦校正器或调焦器)和4通道高压直流放大器A4MEMS的实拍图 硅微机械变形镜是由Flexible Optical B.V.… ...
出版社:科学出版社 丛编项: 标签:硅 ISBN:9787030047847出版时间:1996-01-01包装: 开本:19cm页数:259页字数: 内容简介 系统地阐述了硅微机械加工技术的基本原理和方法. 作者简介 暂缺《硅微机械加工技术》作者简介 图书目录 暂缺《硅微机械加工技术》目录 ...
硅微机械加工技术 演讲人 202x-11-11 one 01序言 序言 one 02前言 前言 one 03目录 目录 one 04 第一章硅的各向同性腐蚀 第一章硅的各向同性腐蚀 1.1各向同性腐蚀 01原理 1.3各向同性自停 03止腐蚀 1.2影响各向同性 02腐蚀的因素 1.2.1温度的影响1.2.2腐蚀液成分的影响1.2.3成分配比对硅表面形貌...
主要内容包括：硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制，硅的表面微机械加工技术，LIGA工艺，硅-硅直接键合工艺，以及硅的干法腐蚀工艺及其物理机制。这些内容涵盖了微机械系统加工工艺的各个方面，经过多次修订，已在法国和英国的大学中得到试用。本书概念清晰，对于MEMS领域的工程技术人员、研究生和高年级本科生具有较...
机械/仪表工业硅微机械加工技术-黄庆安.pdf 265页内容提供方:带头大哥 大小:3.52 MB 字数:约小于1千字 发布时间:2017-05-26发布于广东 浏览人气:121 下载次数:仅上传者可见 收藏次数:0 需要金币:*** 金币 (10金币=人民币1元)硅微机械加工技术-黄庆安.pdf 关闭预览 想预览更多内容,点击免费在线...