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答:微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法。在微机械研究领域中,从尺寸角度,微机械可分为1mm—10mm的微小机械,1μm—1mm的微机械,1nm—1μm的纳米机械,微细加工则是微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。广义上的微细加工,其方式十分丰富,几乎涉及现代特种加工、微型精密切削加工...
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微细加工与一般尺寸加工不同点:加工尺度、加工技术、材料要求、设备精度、工艺方法。 1. **微型机械特点分析**:微型机械由于体积微小,质量较轻;结构紧凑导致集成度高;微尺度下摩擦、热变形等因素需高精度控制;能耗低因驱动微小部件所需能量少。 2. **微细加工与一般加工区别**: - **加工尺度**:微细加工...
微型机械的特点:微小尺寸、高精度、材料多样化、多功能集成、低能耗。微细加工与常规尺寸加工的不同点:加工技术(光刻/蚀刻等 vs 切削/铣削)、材料(半导体/薄膜 vs 金属)、生产批量(大规模 vs 单件/小批量)、加工机理(添加/减材工艺结合 vs 机械去除)、精度等级(纳米/微米级 vs 毫米级)。 1. **微型机械特点...
一、技术原理与加工特性 体微机械加工采用各向异性刻蚀、离子束铣削等物理化学方法,对硅晶圆、金属等基材进行三维立体成型。其核心优势在于能实现深宽比超过20:1的立体结构加工,并保持亚微米级的尺寸公差。 二、跨行业应用图谱 1. 医疗...
直径的微静电电机 计算机和通讯系统的控制 美国加利福尼亚大学伯克利分校,麻省理工学院 分离层技术 一些典型的微机械产品 微细加工(Microfabrication)起源于半导体制造工艺,原来指加工尺度约在微米级范围的加工方式。在微机械研究领域中,它是微米级,亚微米级乃至毫微米级微细加工的通称。 制造微机械常采用的微细加工又可...
答:微机械是指可以批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理 和控制电路,甚至外围接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统,也称微型机电系 统或微型系统。 微机械基本特征:(1)体积小,精度高,重量轻 (2)性能稳定,可靠性高 (3)能耗低, 灵敏度和工作效率高(4)多功能和智能化 (5)适用于...