目前工业中应用的MEMS微机械加工技术包括：体硅微加工（Bulk Micromachining)、表面微加工(Surface Micromachining)、LIGA工艺（光刻、电铸和模造），三种工艺方法各有其优势和局限性。1、体硅微加工 体硅微加工是一种通过各向异性或各向同性刻蚀衬底的方法在硅衬底上制造各种机械结构器件的技术。其特点是设备简单、投资少...
微机械加工技术是加工微米量级机械的技术，即是为微传感器、微执行器和微电子机械系统制作微机械部件和构造的加工技术。•分类方法 在工艺中经常同时使用 •外表微机械加工的定义 定义：能够制造附着于衬底外表附近的微构造的工艺。与体微机械加工不同，外表微机械加工没有移除或刻蚀体衬底材料。•外表微机械加工...
在微机械加工行业中,薄膜技术扮演着举足轻重的角色。其中,PECVD(等离子增强化学气相沉积)技术以其低温沉积多种材料的特性著称,所沉积的薄膜释放性能优越,生物相容性良好,特别适用于微机械件的精密制造。而PVD(物理气相沉积)技术,则凭借其高速沉积、强附着力和耐磨性,在微机械件表面涂层加工中占据一席之地。此外,ALD(...
微机械加工是利用微细加工技术制造和加工微型机械件,是目前微机电系统研究领域中的一个热点。薄膜技术在微机械加工中有着广泛的应用,可以用于对微机械件表面进行涂覆和改性。 二、PECVD薄膜技术 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)即等离子增强化学气相沉...
在微纳加工工艺技术中,光刻技术是一项重要的基础工艺。光刻的原理类似于传统的照相技术,但精度要高得多。通过在光刻胶上曝光特定的图案,然后进行显影和蚀刻等工艺步骤,可以将设计好的图形转移到基底材料上。光刻技术的精度和分辨率直接影响着微纳加工的质量和性能。 电子束光刻是一种高精度的光刻技术。它使用电子束...
本文重点描述运用MEMS微机械加工工艺技术设计、加工、生产胎压传感器IC芯片,即通过微机械加工工艺制作出低成本各参数指标和使用性能可与国外同类产品竞争的胎压传感器IC芯片,为国内诸多TPMS厂商配套,逐步已优越的性价比为国际厂商提供芯片。 结构原理 芯片设计采用了单岛膜结构,下图为产品的单岛膜结构(又称为E型硅杯结构...
微细机械加工的关键技术有哪些?()A.微系统建模技术B.微细加工技术C.微型机械组装和封装技术D.自组织成型工艺
MEMS工艺-表面微机械加工技术_电子电路_工程科技_专业资料PPT课件_工学_高等教育_教育专区。. 1 . 2 . 3 . 4 . 5 . 6 . 7 . 8 . 9 . 10 . 11 . 12 . 13 . 14 . 1 . 2 . 3 . 4 . 5 . 6 . 7 . 8 . 9 . 10 . 11 . 12 . 13 . 14 . 15 . 16 . 17 . 18 . 19 ....
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微电机壳的机械加工工艺及专用夹具设计摘要本设计首先对微电机壳零件图样的技术特性,几何特性,尺寸及其工艺要求进行分析,其次明确加工内容和要求,确定加工方案,选择适合的数控机床(铣床),刀具和夹具,设置合理的工艺路线及选择合理的切削用量。最终的夹具设计是根据微电机壳的零件图,技术要求和加工批量,设计出适合于该电机...