MEMS是一个很小的机械系统，产品尺寸在1μm~1mm之间（头发直径约50μm），感知外界环境，并作出相应操作。下图是来自日本丰桥技术科学大学，通过高精度传感器拍摄的微米级MEMS机械结构运动情况，可以很直观看到MEMS具有常规的机械系统结构，但是尺寸做到了微米级甚至纳米级。MEMS的市场前景 国内市场年增长在15%左右，预计...
传统机械系统是由各种机械部件组成的,例如机械结构、传动装置、传感器等。而微机电系统则采用微电子加工技术,将机械部件与电子器件相结合,形成一个稳定、精密的微小系统,在实现机械运动的同时,通过微型芯片完成智能控制。 二、工作方式的不同 传统机械系统通常由机械转动来完成工作任务,而...
MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems(微电子机械系统)的缩写,是一种集成了微小电子元件、机械元件和传感器的微型系统。这些系统通常在微米到毫米的尺寸范围内,能够在微观尺度上执行各种功能,如感应、测量…
微电子机械系统（MEMS）是英文micro electro mechanical systems的缩写，代表了21世纪前沿技术的微米/纳米技术，它在微米/纳米尺度上设计、加工、制造和控制微米/纳米材料。MEMS的特征在于将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一体，形成微型系统。这种微电子机械系统具备采集、处理和发...
微电子机械系统是指集微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路、接口电路和电源于一体的微型机械电子系统。它通过对系统的微型化和集成化来提升其性能。微电子机械系统涉及工业中的各个领域,包括航空航天、汽车电子、生物医疗、自动控制、消费电子等。它具微型化、机械电气性能优良、可批量生产、集成化、多学科交叉等...
MEMS 微机电系统结合兼容传统的半导体工艺, 采用微米技术在芯片上制造微型机械,并将其与对应电路集成为一个整体的技术,它是以半导体制造技术为基础发展起来的, 批量化生产能满足物联网对传感器的巨大需求量和低成本要求。 MEMS传感器的分类 MEMS传感器不仅能够感知被测参数,将其转换成方便度量的信号;而且能对所得到的...
理解和应用微电子机械系统(MEMS),MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来,MEMS具有以下几个基本特点,微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批
微电子机械系统技术在欧洲也称为微系统技术(Microsystem Technology,MST),是近年来飞速发展的一门高新技术,它综合集成了微电子工艺和其他微加工工艺,加工制造各种微型传感器和微型执行器,并将其综合集成。微电子机械系统技术包含了材料、设计与模拟、加工制造、封装、测试五个方面。 MEMS的材料包括导体、半导体和绝缘材料...
微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量...
PMMA [聚甲基丙烯酸甲酯](俗称为亚克力或有机玻璃)、聚丙烯、聚氯乙烯、丙烯酸和其他热塑性塑料以片状形式用作微加工的基材。需加热到玻璃化转变温度以上,可以在母版的压力下对其中一些材料进行模制(molding)或压花(embossing)。比如,聚碳酸酯(简写为PC)和丙烯酸层通过热压花在其表面形成通道,用于微流体系统。 图- ...