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MEMS是一个很小的机械系统，产品尺寸在1μm~1mm之间（头发直径约50μm），感知外界环境，并作出相应操作。下图是来自日本丰桥技术科学大学，通过高精度传感器拍摄的微米级MEMS机械结构运动情况，可以很直观看到MEMS具有常规的机械系统结构，但是尺寸做到了微米级甚至纳米级。MEMS的市场前景 国内市场年增长在15%左右，预计...
微机械超声换能器(MUT)是利用MEMS技术制作的设备。主要分为电容式(CMUT)和压电式(PMUT)两种,各有优势。相比传统换能器,MUT体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活,并易于与电路集成。随着技术进步和产业链完善,MUT有望成为传统换能器的替代品。与传统换能器...
微机械陀螺寻北仪可以用于地图绘制和测量,提高测量的精度和效率;在稳定平台中,微机械陀螺寻北仪可以用于平台的稳定和控制,提高平台的稳定性和精度;在交通领域中,微机械陀螺寻北仪可以用于车辆的导航和定位,提高交通的安全性和效率;在无人驾驶航空器和无人...
微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS...
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一、薄膜技术在微机械加工中的作用 微机械加工是利用微细加工技术制造和加工微型机械件,是目前微机电系统研究领域中的一个热点。薄膜技术在微机械加工中有着广泛的应用,可以用于对微机械件表面进行涂覆和改性。 二、PECVD薄膜技术 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vap...
基于MEMS工艺微机械的失效测试主要借鉴IC器件,但其工作机理和工况条件与IC器件不尽相同,因此对基于MEMS工艺的微机械所特有的失效机理、检测手段等方面还需更进一步地研究。开发适用于基于MEMS工艺微机械失效分析的专用测试设备、建立通用的测试程序也是亟待解决的问题。