微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工，涉及微电子、材料、力学、化学、...
微型机械泛指尺寸范围为毫米、微米或纳米级，集微机构、微传感器、微驱动器、微执行器和微控制器为一体的的微型机电系统（MEMS）。中国在近十年期间，通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究，在MEMS领域取得了突出进展。提出和发展了由于尺度效应而产生的微机械学。MEMS技术已开始在我国的社会...
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微机械陀螺仪（MEMS陀螺仪）是微电子机械系统（MEMS）技术的一种应用，它是一种利用微电子技术和微加工技术制造的微型传感器。应用 微机械陀螺仪用于测量汽车的旋转速度（转弯或者打滚），它与低加速度计一起构成主动控制系统。所谓主动控制系统就是一旦发现汽车的状态异常，系统在车祸尚未发生时及时纠正这个异常...
微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比人们头发的直径小很多。 MEMS往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件,例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS...
微机械加工是指获得元件之间的特征尺寸和间隔处于1μm或更小范围内的三维器件的加工工艺。这是一种批量制造工艺，所用材料及工艺均类似于成熟的集成电路工艺，故微机械加工的传感器在性价比方面较之普通加工的传感器有明显改进。微机电系统中的微机械加工方法可大致分为以下三 类 ①利用传统的超精密加工及特种加工技术...
MEMS微流控（microfluidics ）系统，就是一种流量控制，是精确控制和操控液体流动的装置，使用几十到几百微米尺度的管道，一般针对微量流体，用于生物医药诊断领域的高精度和高敏感度的分离和检测，具有样品消耗少、检测速度快、操作简便、多功能集成、体小和便于携带等优点。MEMS微流控是纯粹的机械结构，制作微流控...