为了方便大家对材料进行深入的失效分析及研究,金鉴实验室具备Dual Beam FIB-SEM业务,包括透射电镜( TEM)样品制备,材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析等。1. 离子束成像:利用探测器接收激发出的二次电子来成像,聚焦离子束轰击样品表面,激发出二次电子、中性原子、二次离子和光子等。
FIB-SEM能够实现材料切片式形貌与成分三维重构并揭示其内部三维结构。 大致流程见图6a, FIB切下一定厚度试样, SEM拍照,反复进行这一步骤,先后拍摄数百张图片,再对数百张切片图片进行三维形貌重建。 图6b为某多孔材料在3×5×2um内进行三维重构,通过FIB-SEM获取实验数据,通过Avizo软件进行三维重构,分辨率能达到纳米级...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面...
通过FIB-SEM所配备的纳米机械手和与之相配合的离子束沉积Pt可实现微米材料传递,即将某一材料由一地点(衬底)传递至一指定地点(衬底)且固定稳固。 图8将4针氧化锌微米线在硅片上转移至两电极沟道间,这样就制得了2根微米线距离仅为1um的专用器件。▲图8. 四针氧化锌微米线的转移 ...
聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文介绍一下FIB-SEM在材料研究中的应用。 1.定点剖面形貌和成分分析 图1a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学显微镜...
聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文介绍一下FIB-SEM在材料研究中的应用。 1.定点剖面形貌和成分分析 图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学显微镜...
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置、纳米操纵仪、各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质等众多领域。本文主要介绍双束系统基本结构、工作原理及在...
本公司生产销售聚焦扫描电镜系统 电镜系统,提供聚焦扫描电镜系统专业参数,聚焦扫描电镜系统价格,市场行情,优质商品批发,供应厂家等信息.聚焦扫描电镜系统 聚焦扫描电镜系统 品牌泰思肯|产地广东|价格888.00元|型号TESCAN AMBER|代理广东晟泽科技|规格进口广东聚焦扫描电镜系
FIB-SEM双束系统通过结合扫描电子显微镜(SEM)的高分辨率成像能力和聚焦离子束(FIB)的精确加工能力,为研究人员提供了一个强大的平台。该系统不仅能够进行纳米级别的加工,还能够进行原位观察和分析,这对于理解和改进红外探测器的制造工艺至关重要。随着对红外探测器性能要求的提高,其制造工艺也变得越来越复杂。第三代焦...
聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文介绍一下FIB-SEM在材料研究中的应用。 1.定点剖面形貌和成分分析 图1a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学显微镜...