图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括:①电子束成像，用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程;②离子束刻蚀，用于截面观察和图形加工;③气体沉积，用于图形加工和样品制备;④显微切割制备微米大小纳米厚度的超薄片试样(厚度小于＜100 nm)，用于后续的TEM和同步辐射...
图1 (a) FIB-SEM双束系统工作原理示意图;(b) Ga离子束与样品的相互作用示意图;(c) FIB离子束可是样品的示意图;(d) FIB离子束和GIS系统在样品表面进行诱导沉积的示意图。FIB-SEM可以简单理解为单束聚焦离子束系统与普通扫描电镜的集合。离子镜筒的结构示意图如图1(a)，目前应用最广泛的是液态金属镓(Ga)离子...
随着技术的发展,FIB-SEM双束系统不断集成新型探测器、微纳操控器和测试装置,成为功能强大的综合分析与表征设备,其应用范围也从半导体行业扩展到更广泛的领域。金鉴实验室的专业团队不断探索和优化FIB-SEM双束系统的性能,以满足客户日益增长的分析需求。 系统构成与原理 FIB-SEM双束系统由离子源、离子光学柱、束描画...
在常见的双束FIB-SEM系统中:电子束垂直于样品台,离子束与样品台呈一定的夹角,工作的过程中需要把样品台旋转至52度位置,此时离子束与样品台处于垂直状态,便于进行加工,而电子束与样品台呈一定的角度,可以观测到截面内部的结构。 图1. FIB-SEM双束系统的结构示意图 离子镜筒的结构示意图如下图所示。目前应用最广泛...
2. 工作原理:离子柱尖端的液态离子源在强电场作用下提取带有正电荷的离子,通过静电透镜和四极/八级偏转装置进行聚焦和扫描。系统在高真空状态下工作,以防止离子束受到气体分子的影响。 二、聚焦离子束的应用: 为了方便大家对材料进行深入的失效分析及研究,金鉴实验室具备Dual Beam FIB-SEM业务,包括透射电镜( TEM)样...
FIB-SEM双束系统就是把FIB系统和传统扫描电子显微系统按一定的角度同时装在一个装置上,把试样调节到共心高度位置。这就使得试验时可通过转动试样台使试样表面与电子束或者离子束垂直,从而最终达到对电子束进行实时观测和对离子束进行切割或者微加工等效果。 在常见的双束FIB-SEM系统中:电子束垂直于样品台,离子束与...
基本原理：FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）和扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）功能的系统，如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用，集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦...
图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括: ①电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程; ②离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工; ③气体沉积,用于图形加工和样品制备; ④显微切割制备微米大小纳米厚度的超薄片试样(厚度小于<100 nm),用于后续的TEM和同步辐射...
一、聚焦离子束系统的结构与原理 1. 系统结构: 聚焦离子束系统的核心是离子柱,位于样品室顶部,包含液态金属离子源、聚焦装置、束流限制和偏转装置等。样品室内设有五维可调样品架,实现多方向分析和处理。 2. 工作原理: 离子柱尖端的液态离子源在强电场作用下提取带有正电荷的离子,通过静电透镜和四极/八级偏转装置进...