FIB-SEM能够实现材料切片式形貌与成分三维重构并揭示其内部三维结构。 大致流程见图6a, FIB切下一定厚度试样, SEM拍照,反复进行这一步骤,先后拍摄数百张图片,再对数百张切片图片进行三维形貌重建。 图6b为某多孔材料在3×5×2um内进行三维重构,通过FIB-SEM获取实验数据,通过Avizo软件进行三维重构,分辨率能达到纳米级...
▲图5. FIB-SEM加工的微纳图形 4、切片式三维重构 FIB-SEM能够实现材料切片式形貌与成分三维重构并揭示其内部三维结构。大致流程见图6a, FIB切下一定厚度试样, SEM拍照,反复进行这一步骤,先后拍摄数百张图片,再对数百张切片图片进行三维形貌重建。 图6b为某多孔材料在3×5×2um内进行三维重构,通过FIB-SEM获取...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面...
双束聚焦离子束系统可简单地理解为是单束聚焦离子束和普通SEM之间的耦合。单束聚焦离子束系统包括离子源,离子光学柱,束描画系统,信号采集系统,样品台五大部分。离子束镜筒顶部为离子源,离子源上施加强大电场提取带正电荷离子,离子经静电透镜与偏转装置聚焦偏转后实现样品可控扫描。 样品加工是通过将加速的离子轰击样品使...
FIB-SEM双束技术及应用介绍-聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科
聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文介绍一下FIB-SEM在材料研究中的应用。1.定点剖面形貌和成分分析 图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学...
结合聚焦离子束(FIB)技术和扫描电子显微镜(SEM)的FIB-SEM双束系统,通过整合气体注入系统、纳米操控器、多种探测器以及可控样品台等附件,已发展成为一个能够进行微观区域成像、加工、分析和操控的综合分析工具。该系统的应用已经从半导体行业扩展到材料科学、生命科学和地质学等多个领域。本文带你了解FIB-SEM双束系统中...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。金鉴实验室具备三台FIB-SEM双束设备,能够很好的为客户提供服务。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中...
聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。为方便客户对材料进行深入的失效分析及研究...
聚焦离子束(Focus ion beam,FIB)结合扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy,SEM)而成的双束系统(Dual beams system),具备高精度微纳加工能力,同时还具备超高空间分辨率成像,是极其重要的超精细加工与表征仪器之一。从材料科学角度看,FIB可以实现近乎无应力条件下的超精细加工且对材料要求不高,所以首先被应用于光...