在这两种系统中，一个源发射出带电粒子，这些粒子被聚焦成一个粒子束，并使用偏转板或扫描线圈在样品的小范围内进行光栅扫描。SEM使用磁透镜来聚焦电子束；然而，由于离子更重，因此速度更慢，相应的洛伦兹力更低，磁透镜就不那么有效。FIB系统配备了静电透镜，这已被证明是更有效的。SEM和FIB都是通过收集离子束...
以下是对FIB(聚焦离子束,Focused Ion Beam)和SEM(扫描电子显微镜,Scanning Electron Microscope)的区别的详细阐述: ### 一、定义与基本原理 1. **FIB** - **定义**:FIB是一种利用聚焦的高能离子束对样品进行微纳加工和分析的技术。 - **基本原理**:通过静电透镜将离子源产生的离子加速并聚焦成极细的束流...
FIB-SEM双束系统结合了聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）的功能，使得在微加工过程中，SEM能够实时监控FIB的操作，实现了高分辨率电子束成像与精细离子束加工的完美结合。FIB技术通过加速并聚焦液态金属离子源产生的离子束于样品表面，生成二次电子信号以形成电子图像，或者利用高电流离子束在样品表面进行蚀刻和微...
聚焦离子束显微镜（FIB-SEM）是一种将聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）技术完美结合的综合性工具，具有高分辨率的成像能力和精确的微加工能力，成为现代科学研究与工业应用中的关键设备。其在材料科学、电子工业、生命科学以及纳米技术领域的广泛应用，充分体现了其在显微成像和微观加工上的优势。FIB-SEM双束系...
FIB-SEM制备TEM薄片流程 图2 利用FIB-SEM制备透射电镜薄片流程 01 利用 SEM 分析找到感兴趣的区域，表面尽量平整。选定目标微区( 长×宽约为 15×2 μm) ，并在该微区内选定一特征点置于画面中心，倾转样品台至样品表面与离子束垂直( ～ 54°) 。为了避免在此过程中离子束对样品表面的“误伤”，通常还需...
对于FIB-SEM系统来说，复杂的结构可以由系统编写脚本并自动执行，不需要操作员在现场。微纳结构的案例，可以从富铂沉积，到纳米孔阵列、甜甜圈、横截面和以及微型机器人。在图案化过程中，离子束在样品表面进行（矢量）扫描，在一个扫描点上停留（停留时间），再转移到下一个点。刻蚀和沉积的速度和精度是由离子束...
聚焦离子束(Focused Ion beam,FIB)是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。聚焦后作用于样品表面。其主要的作用分为以下三种: 1、产生二次电子信号取得电子图像,该项功能和SEM相似,且二者可搭配使用效果更好。 2、通过强电流离子束对表面原子进行剥离,完成微纳米级别的表面形貌加工工作,该项功能...
本文详细介绍了聚焦离子束(FIB-SEM)的相关知识。 聚焦离子束(FIB)是一种将高能离子流聚焦成细束的仪器,通过将离子束扫描到目标材料上来进行加工。离子与试样相互作用,以纳米精度去除试样原子,实现纳米级加工。FIB结合了完全受控的离子束、高精度样品导航系统和先进信号检测器...
FIB采用高强度聚焦离子束纳米加工材料，并结合扫描电镜（SEM）和其他高倍数电子显微镜进行实时观测，已成为纳米级分析，制作的主要手段。02 主要应用 用途及功能 定点剖面形貌和成分表征；TEM样品的制备；微纳结构的处理；芯片线路的重构；切片式的三维重构；材料的传递；三维原子探针样品的制备；适用领域 结构分析、材料...
FIB-SEM双束系统结合了聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）的双重功能，代表了高端技术装备的最新发展。FIB-SEM双束设备实物图 FIB-SEM双束设备内部示意图 FIB-SEM双束系统的协同效应 FIB-SEM双束系统的核心优势在于其能够同时执行FIB和SEM的操作。FIB技术通过物理溅射和化学气体反应，有选择性地进行蚀刻或沉积...