以下是对FIB(聚焦离子束,Focused Ion Beam)和SEM(扫描电子显微镜,Scanning Electron Microscope)的区别的详细阐述: 一、定义与基本原理 FIB 定义:FIB是一种利用聚焦的高能离子束对样品进行微纳加工和分析的技术。 基本原理:通过静电透镜将离子源产生的离子加速并聚焦成极细的束流,然后轰击样品表面。离
SEM主要用于观察和分析样品的表面形貌和成分。 FIB与SEM的技术原理和成像方式 FIB的技术原理是基于离子与物质的相互作用,通过高能离子束轰击样品表面,产生二次离子和二次电子信号,从而形成显微图像。FIB的成像方式包括二次离子成像和二次电子成像,其分辨率可以达到纳米级别。 SEM的技术原理则是利用电子束扫描样品...
FIB带有SEM功能;FIB另外的功能就是微纳加工。SEM是电子束成像原理.FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.
但SEM 使用聚焦电子束对样品腔中的样品成像,而 FIB 装置使用聚焦离子束来代替。与电子显微镜不同的是,FIB 对样品有内在的破坏性。 高能镓离子撞击样品时,会从表面溅射出原子。镓原子也会被注入样品表面的几纳米,表面将变成无定形。一个FIB-SEM系统同时具有电子束和离子束,可使用任一束来研究相同特征。FIB-SEM ...
注:并非用Ga+才叫FIB(In,Au.AsPd2),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).Focused(聚焦)...
#SEM#SEM,F..FESEM就是场发射的SEM,分辨率会比较高,拍出来的图像清晰。目前双束聚焦离子束SEM/FIB,它上面也可以配FESEM,既可以形貌观察,拍出清楚的图片,也能用FIB切割样品。主要看你的用途了。
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