系统在高真空状态下工作,以防止离子束受到气体分子的影响。 二、聚焦离子束的应用: 为了方便大家对材料进行深入的失效分析及研究,金鉴实验室具备Dual Beam FIB-SEM业务,包括透射电镜( TEM)样品制备,材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析等。 1. 离子束成像:利用探测器接收激发出的二次...
FIB-SEM双束系统通过集成气体沉积装置、纳米操纵仪、多种探测器以及可控制的样品台等附件,实现了微区成像、加工、分析和操纵的一体化。这种技术已广泛应用于半导体、材料科学、生命科学和地质学等多个领域。技术规格 Zeiss Auriga Compact FIB-SEM的主要技术参数包括:FEI Helios Nanolab 450S的特点在于:使用FIB进行...
FIB-SEM能够实现材料切片式形貌与成分三维重构并揭示其内部三维结构。 大致流程见图6a, FIB切下一定厚度试样, SEM拍照,反复进行这一步骤,先后拍摄数百张图片,再对数百张切片图片进行三维形貌重建。 图6b为某多孔材料在3×5×2um内进行三维重构,通过FIB-SEM获取实验数据,通过Avizo软件进行三维重构,分辨率能达到纳米级...
聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文介绍一下FIB-SEM在材料研究中的应用。1.定点剖面形貌和成分分析 图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学...
本文详细介绍了聚焦离子束(FIB-SEM)的相关知识。 聚焦离子束(FIB)是一种将高能离子流聚焦成细束的仪器,通过将离子束扫描到目标材料上来进行加工。离子与试样相互作用,以纳米精度去除试样原子,实现纳米级加工。FIB结合了完全受控的离子束、高精度样品导航系统和先进信号检测器...
FIB-SEM能够实现材料切片式形貌与成分三维重构并揭示其内部三维结构。 大致流程见图7a, FIB切下一定厚度试样, SEM拍照,反复进行这一步骤,先后拍摄数百张图片,再对数百张切片图片进行三维形貌重建。 图7b为某多孔材料在3×5×2um内进行三维重构,通过FIB-SEM获取实验数据,通过Avizo软件进行三维重构,分辩率能达到纳米级...
聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文介绍一下FIB-SEM在材料研究中的应用。 1.定点剖面形貌和成分分析 图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学显微镜...
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面...
FIB-SEM原理 FIB-SEM双束系统是将FIB系统与传统的扫描电子显微系统成一定角度同时安装在一台设备上,并将样品调整至共心高度的位置。这样在测试过程中,可以通过旋转样品台,使样品表面垂直于电子束或离子束,最终实现电子束实时观察及离子束切割或微加工的功能。
FIB - SEM双束系统是指同时具有聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)和扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)功能的系统,如图1。本发明能够实现SEM对FIB微加工过程进行实时观察的作用,集电子束高空间分辨率与离子束精细加工等优点于一体。 其中FIB就是把液态金属离子源输出的离子束加速后聚焦在试样表面生成二...