Ga离子束通过静电透镜被聚焦在样品上并进行扫描,与样品发生相互作用,收集产生的各种信号,从而实现对样品的精细加工和显微分析。图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括:①电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程;②离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工;③...
Ga离子束通过静电透镜被聚焦在样品上并进行扫描,与样品发生相互作用,收集产生的各种信号,从而实现对样品的精细加工和显微分析。 图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括: ①电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程; ②离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工; ...
普通双束FIB-SEM系统:电子束和样品台垂直,离子束和样品台之间有一定夹角,在工作过程中要将样品台转动到52°位置,这时离子束和样品台是垂直的,方便加工,同时电子束和样品台之间存在一定夹角,可观察截面内的构造,见图2。图1. 典型FIB-SEM双束设备实物图 图2. 典型FIB-SEM双束设备内部示意图 应用一:截面...
Ga离子束通过静电透镜被聚焦在样品上并进行扫描,与样品发生相互作用,收集产生的各种信号,从而实现对样品的精细加工和显微分析。 图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括: ①电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程; ②离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工; ...
图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括: ①电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程; ②离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工; ③气体沉积,用于图形加工和样品制备; ④显微切割制备微米大小纳米厚度的超薄片试样(厚度小于<100 nm),用于后续的TEM和同步辐射...
图1 (a) FIB-SEM双束系统工作原理示意图;(b) Ga离子束与样品的相互作用示意图;(c) FIB离子束可是样品的示意图;(d) FIB离子束和GIS系统在样品表面进行诱导沉积的示意图。FIB-SEM可以简单理解为单束聚焦离子束系统与普通扫描电镜的集合。离子镜筒的结构示意图如图1(a),目前应用最广泛的是液态金属镓(Ga)离子...
图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括: ①电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程; ②离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工; ③气体沉积,用于图形加工和样品制备; ④显微切割制备微米大小纳米厚度的超薄片试样(厚度小于<100 nm),用于后续的TEM和同步辐射...
聚焦离子束(FIB)是一种将高能离子流聚焦成细束的仪器,通过将离子束扫描到目标材料上来进行加工。离子与试样相互作用,以纳米精度去除试样原子,实现纳米级加工。FIB结合了完全受控的离子束、高精度样品导航系统和先进信号检测器,形成了一个用于成像、溅射和微加工的多功能分析平...
图1 (a) FIB-SEM双束系统工作原理示意图; (b) Ga离子束与样品的相互作用示意图; (c) FIB离子束可是样品的示意图; (d) FIB离子束和GIS系统在样品表面进行诱导沉积的示意图。 FIB-SEM可以简单理解为单束聚焦离子束系统与普通扫描电镜的集合。 离子镜筒的结构示意图如图1(a),目前应用最广泛的是液态金属镓(...
图2. FIB-SEM 双束系统工作原理示意图 FIB-SEM功能及应用 1、FIB-SEM的主要功能包括: 电子束成像,用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程; 离子束刻蚀,用于截面观察和图形加工; 气体沉积,用于图形加工和样品制备; 显微切割制备微米大小纳米厚度的超薄片试样(厚度小于<100 nm),用于后续的TEM和同步辐射STXM等相关...