一、集成电路制造技术 硅基集成电路芯片的生产过程 一、集成电路制造技术 npn晶体管芯片的工艺流程 be n+ pn n+ c 由5个单项工艺：按照一定的顺序排列而成。一、集成电路制造技术 集成电路芯片工艺与分立器件工艺的异同 是在分立器件工艺基础上发展起来的 同一单项工艺基本相同，但是要求会更高 与分立器件
集成电路制造技术——原理与工艺 半导体产业结构 集成电路制造技术——原理与工艺 我国集成电路产业在世界中的地位 1、中国目前进口第一多的商品不是原油,是芯片,一年进口2500亿美元。 2、我国集成电路产业处在世界的中下端,属于集成电路消费大国、制造大国,粗放型、高投入、低利润。 3、缺少高端设计,设备主要被国外...
晶圆制造经过多次光刻、离子注入、刻蚀等工艺处理,形成微小的电子元器件和电路。其他配件如PFA管、PFA接头、PFA阀门等铁氟龙产品,也在制造过程中使用。 特定工艺技术 特定工艺技术如氧化工艺,是集成电路制造的重要工艺技术之一,包括干氧、湿氧、掺氯氧化等技术特性。氧化工艺是硅器...
集成电路制造工艺原理-《集成电路制造工艺原理》 星级: 149 页 集成电路制造工艺原理 星级: 40 页 集成电路制造工艺原理 星级: 72 页 集成电路制造工艺原理 星级: 96 页 集成电路制造工艺原理 星级: 92 页 《集成电路制造工艺原理》 星级: 92 页 《集成电路制造工艺原理》 星级: 92 页 集成电路 ...
集成电路设计原理 电子科学与技术 引言 2. 代客户加工(代工)方式 ➢ 芯片设计单位和工艺制造单位的分离,即 芯片设计单位可以不拥有生产线而存在和 发展,而芯片制造单位致力于工艺实现, 即代客户加工(简称代工)方式。 ➢ 代工方式已成为集成电路技术发展的一个 重要特征。 2021/3/8 韩良 3 集成电路设计原理 ...
集成电路制造技术——原理与工艺(第3版)课件 9.1 光刻-制版技术.pptx,请先安装字体特殊字体双击安装安装后重启PPT主讲集成电路制造技术集成电路制造技术/田丽王蔚JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺集成电路制造技术光刻技术光刻技术JI CHENG DIAN LU ZHI Z
目前低温SiO2工艺有哪些方法?它们降低制备温度的原理是什么?答: 保护膜是芯片制造的最后一个工艺步骤,这时芯片上的元、器件已制作好,如再采用高、中温工艺制作SiO2保护膜,芯片上的金属化系统或器件结构都会受损,如金属被氧化、杂质再分布带来元器件结构的改变,甚至芯片报废。所以,只能采用低温工艺。目前,采用最多是...
第1单元介绍硅衬底,主要介绍硅单晶的结构特点,单晶硅锭的拉制及硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。 第2～5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺的原理、方法、设备,以及所依托的技术基础及发展趋势。 其中,第2单元氧化与掺杂,介绍热氧化生长二氧化硅工艺,以及通过热扩散和离子注入与退火相结合的在硅片特定...
集成电路制造技术集成电路制造技术JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU ——原理与工艺第十一章 工艺集成金属化与多层互连金属化与多层互连JI CHENG DIAN LU ZHI ZAO JI SHU 金属化与多层互连金属及金属性材料在芯片上的应用被称为金属化,形成的整个金属及金属性材料结构称金属化系统。金属化材料可分为三类:1互连...
——原理与工艺 集成电路制造技术——原理与工艺 1 教材与参考书、考核 教材:王蔚 《微电子制造技术---原理与工艺》 (修订版)电子工业出版社 2013 参考书:关旭东 《硅集成电路工艺基础》北京大 学出版 2003 清华大学《集成电路工艺》多媒体教学课件 2001 Stephen A. C.《微电子制造科学原理与工程技术》 电子...