集成电路制造技术原理与工艺习题解答答案第2单元.pdf,第二单元习题解答 1. SiO 膜网络结构特点是什么?氧和杂质在 SiO 网络结构中的作用和用途是什 2 2 么?对SiO 膜性能有哪些影响? 2 二氧化硅的基本结构单元为 Si-O 四面体网络状结构,四面体中心为硅原子,四个顶角 上为