这个专利概述中不是说了嘛,紫外窄光谱,这个说的是激发光源是NUV谱400-300nm的汞灯光源,也就是i-line 对应365nm波长光源线。但是这个按国内的镜头只能做到200nm精度。 国内现在拿出成品销售的上海微电子SEEE,可做IC前道加工的600系列光刻机。i-line汞灯光源,只能加工200nm, 后面有用ARF和KRF激光光源的。也只到1...
第一二代光刻机均为接触接近式光刻机,曝光方式为接触接近式,G线(G-line)光刻机,使用的是436nm波长的光源。而I线(I-line)使用的是365nm波长的光源,这两种光刻机,也叫做紫外光刻机。 而第三代升级为投影式光刻机,利用光学透镜可以聚集衍射光提高成像质量将曝光方式升级为光学投影式光刻,以扫描的方式实现曝光。
一、光刻机: 光刻机经历了5代产品发展,按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影光刻机和极紫外式光刻机。 光源是光刻机的核心构成之一,其波长决定了光刻机的工艺能力。光刻机根据光源不同可分成紫外(UV)光刻机、深紫外(DUV)光刻机、极...
【通过定制产品绕过出口管制,日企要开拓中国光刻机市场?】据《日本经济新闻》近日报道,日企尼康计划2024年面向市场推出光刻机新品,使用上世纪90年代初的“i-line”老一代光源技术,来绕开日本对先进半导体进行的出口管制。报道称,这是尼康时隔25年后第一次推出新产品。为拯救经营颓势,日本光刻机企业打算定制产品,绕...
line-up产品规格 混合点光源产品规格 混合点光源专属控制器规格 feature性能特点 亮度比连续发光LED高30倍 可完美替代氙气灯 LED和激光的结合 使用寿命长 最佳匹配iPulse spectrum亮度&光谱 以上是ILS-HWS1600W-D46白色光源的亮度和光谱图。 dimension机械尺寸...
而且随着面板厂为了提升自己新产品的获利能力采取in-line在线自配产能的趋势等综合因素影响,传统的背光源企业时不时因行业产能过剩严重和行业景气下滑,利润深陷行业价格战血洗也在所难免。 然而除了手机配件组装业务,传统的手机背光源或触摸屏企业想要转型升级,也不是那么容易,跨行进入其它行业同样有盲目的风险。如何真正...
Line ball gap encoder holding wire adjustment: Adjustment line ball gap to smallest, this time the line ball gap is smallest the close switch movement, the line ball gap automatic correction; Again increases the line ball gap, the line ball gap demonstrated the value starts from the minimum va...
※PS-150UE-DC是電源供應器和鹵素光源產生器各自獨立的分離式機型,以連接用電纜將兩機體連接來進行使用。 ※電源供應器備有燈泡燒斷檢測、燈泡ON/OFF遙控、光亮遙控3大功能,設計為最適合用於機械視覺圖像處理檢驗裝置和裝載用光源。 ※鹵素光源產生器可根據用途的不同,進行數位程控。主要應用 : ...
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aavailable at 可利用在[translate] a阿尔伯特·威斯克 Albert · Wiese gram[translate] a烟草润叶机是烟草行业烟叶复烤生产线上的重要设备 Tobacco RunYe Ji is the tobacco profession leaf tobacco duplicate roasts on the production line the important equipment[translate] ...