WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS) 快速测量振动,水平和湿度的一体化测量仪。提升良率。 世界各地的晶圆制造厂和设备制造商都非常重视 WaferSense AMS 的准确性、精密度和多功能性。最高效和有效的水平、振动和湿度无线测量设备。 联系我们 组合 提问 案例研究 数据表 白皮书 产品视频 WaferSense®...
产品视频 WaferSense® Airborne Particle Sensor™ 概述 通过无线测量加快设备验证。 使用APS3 和 CyberSpectrum™ 软件无线收集和显示颗粒数据,以进行实时设备诊断。使用 ParticleSpectrum 比较过去和现在,设备以及一种工具™。通过快速定位污染源并实时查看清洁、调整和维修的效果来节省时间。 通过类似晶圆的外形缩...
Collect and display particle data wirelessly using the APS3 and CyberSpectrum™ software for real-time equipment diagnostics. Compare past and present as well as one tool to another with ParticleSpectrum™. Save time by swiftly locating contamination
WaferSense® Auto Leveling System 2 Vertical™ (ALS/ALS2V) Speeds setting the right inclination by measuring pitch, roll, rise overrun and vertical inclinations. Quickly and accurately set the same level across tools for better process uniformity. Optimize Equipment Setup Measure the inclination...
WaferSense® AMS 晶圆型多功能测试片 通过无线测量进行半导体机台的快速校准 使用AMS和MultiView™软件以无线方式收集和显示振动、水平和湿度数据,用于机台实时诊断,使用MultiReview™将过去和现在以及不同设备进行比较。 查看实时调整的影响,加快机台校准和装调的效率。
由美国CyberOptics公司提供的WaferSense®与ReticleSense®无线量测技术,被半导体制造公司和OEM设备制造商所广泛使用;作为全球半导体无线量测的领导厂商,CyberOptics提供腔体间隙、振动、水平、中心对位、污染颗粒度、湿度等各种功能的无线量测工具,提供的高精度、高重复性的图形化与数据化量测,帮助半导体制造提升工艺良率...
WaferSense® ATS 晶圆型中心校准片 通过精确校正晶圆传输位置,提高良率和降低颗粒污染 获取偏移数据,以便在晶圆型ATS穿过半导体机台时精确校准传输位置,用精确校准过的机台能提高工艺良率 实现可重复和可复制的半导体机台调教 通过ATS的校准能够消除技术人员之间的操作差异,从而实现可重复和可重复的设置和维护检查...
瑞乐半导体wafersense——从影响光刻胶剥离效果的因素谈RTDWafer,本视频由晶圆测温系统瑞乐科技提供,0次播放,好看视频是由百度团队打造的集内涵和颜值于一身的专业短视频聚合平台
瑞乐半导体wafersense——TC Glass玻璃基面板测温系统,本视频由晶圆测温系统瑞乐科技提供,0次播放,好看视频是由百度团队打造的集内涵和颜值于一身的专业短视频聚合平台
WaferSense® ALS 晶圆型水平校准片 CyberOptics ALS通过测量倾斜、角度、上升角度和垂直倾斜来设置正确倾斜度。快速准确地在机台之间设置相同的级别,以获得更好的工艺一致性,型号包括ALS150、ALS200和ALS300等 优化机台的设置 测量料盒、FOUPs、机械手、校准器、Load-Locks、传片顶针和工艺腔基座的倾斜度,以充分...