6、清华大学的SSMB-EUV光刻方案。各类EUV光源特点 先来说说SSMB光源，SSMB光源是其中的电子在接近光速的情况下，在磁场中偏转，会在切线方向发出电磁辐射，电子在加速器里因为磁场约束绕圈，一秒能几百万圈，相当于存储在环里，一边绕一边发射电磁波。由于电子速度非常高，数量不少，能量也就不低，发出的电磁波就很多...
简单来说，SSMB-EUV方案就是利用一个高能加速器，将电子加速到接近光速，然后让电子在一个特殊的磁场中发射出极紫外光。这种极紫外光具有很高的能量和波长，可以用来驱动光刻机进行芯片制造。而且，这种方案可以让一个高能加速器同时为多台光刻机提供极紫外光源，实现高效率、低成本、高精度的芯片制造。光刻机的原理...
清华SSMB-EUV方案的关键技术与创新点在于其光源的高功率输出和连续波输出的相干光特性。相较于传统光刻机光源,SSMB-EUV光源的功率高达10千瓦,是阿斯麦光刻机光源的40倍。这意味着,一台阿斯麦光刻机在工作时只能支持一个光源,而清华大学的SSMB-EUV光源则可以同时支持数十台光刻机。此...
EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率，因此D...
第一个热点话题,清华大学的SSMB-EUV可不可以作为EUV光刻机的光源?理论上来说是完全没问题的。清华大学唐传祥教授在《稳态微聚束加速器光源》这篇论文当中已经比较详细地阐述了SSMB的原理、实验验证、核心问题及挑战还有SSMB在芯片光刻当中的应用潜力。并且与LPP、SR(同步辐射光源)、SRF-FEL(基于射频超导直线加速器的...
近日清华提出的SSMB-EUV光源技术忽然引发了公众极大的兴趣。一个说法是，中国可以建加速器产生EUV光源，不同频率的光源可以给28nm、14nm、7nm、5nm等多种芯片制程使用，用“光刻厂”替代ASML一台台的EUV光刻机，以出人意料的创新思维打破美国封锁。这个设想“通俗易懂”，感觉先进的国产光刻机一下有希望了。公众对...
所以，SSMB的EUV技术的关键就是生产规模，这个生产规模越大，这个生产成本就能越低。换句话说，只要中国这个SSMB的EUV技术真的办成了，那么中国在7纳米/5纳米工艺的芯片产能就必须要大规模井喷。因为只有超大规模化的生产才能降低基于SSMB的EUV技术成本，所以中国就别无选择，只能是拼命扩大产能，将这个技术的生产成本...
SSMB技术有望成为一种新型的EUV光源技术，为EUV光刻机提供新的解决方案。根据清华大学教授表示，“SSMB技术可以产生高强度、窄带宽、相干的同步辐射，在激光波长及其高次谐波上都有辐射出现。其中第13次谐波正好对应于EUV波段。”这意味着SSMB技术可以利用现有的环形加速器和激光器，来产生符合EUV光刻机要求的EUV光源，...
杨振宁先生作为中国物理学的泰斗之一，以其回国与贡献、对粒子对撞机项目的看法、SSMB-EUV方案的介绍以及辗转半生与物理学界的未来等方面的贡献，对于中国物理学的发展起到了重要的推动作用。他的辛勤付出和对学生的培养，为中国物理学事业注入了新的活力，并为中国的科技事业作出了卓越贡献。正是因为有了泰斗的存在和...
而SSMB-EUV方案，也正是杨振宁先生与其高徒赵午的手笔。最大创意来自杨振宁先生，而他的学生赵午已经挑起来了大梁。为了解决先进光刻机供应受限的问题，清华大学提出了一种稳态微聚束技术，即通过粒子加速器加速电子来获得所需的极紫外光。SSMB-EUV最大的缺点就是体量大、消耗大、前期投入大，属于大型基础设施而非传统...