清华SSMB-EUV方案是一项针对极紫外光刻光源的创新性技术,旨在突破高端光刻机的核心瓶颈,推动中国半导体产业自主化进程。该方案通过融合加速器物理与激光技术,研发出高功率、高稳定性的光源系统,具备支持规模化生产的潜力。以下从技术原理、核心优势、研发进展及产业影响四个方面展开分析。 ...
目前，清华大学在SSMB EUV光刻技术方面已经取得了多项重要进展，其研究成果领先世界。研究团队不仅成功验证了SSMB技术的可行性，还积极推动该技术的产业化应用。他们已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书，计划在雄安新区建设基于SSMB原理的EUV光源装置，用于技术验证、应用开发和人才培养。
简单来说，SSMB-EUV方案就是利用一个高能加速器，将电子加速到接近光速，然后让电子在一个特殊的磁场中发射出极紫外光。这种极紫外光具有很高的能量和波长，可以用来驱动光刻机进行芯片制造。而且，这种方案可以让一个高能加速器同时为多台光刻机提供极紫外光源，实现高效率、低成本、高精度的芯片制造。光刻机的原理...
6、清华大学的SSMB-EUV光刻方案。各类EUV光源特点 先来说说SSMB光源，SSMB光源是其中的电子在接近光速的情况下，在磁场中偏转，会在切线方向发出电磁辐射，电子在加速器里因为磁场约束绕圈，一秒能几百万圈，相当于存储在环里，一边绕一边发射电磁波。由于电子速度非常高，数量不少，能量也就不低，发出的电磁波就很多...
清华大学SSMB团队是专注于极端紫外(EUV)光刻技术研究的顶尖科研团队,尤其在稳态微聚束(SSMB)光源研发领域取得突破性进展,为半导体制造行业提供了关键技术支持。以下从团队构成、技术成果、合作布局及未来规划等方面展开说明。 一、团队构成与研究定位 该团队由清华大学跨学科专家组成,涵盖物理...
清华大学研究的新型 SSMB-EUV 光刻技术,用于提供高强度、 可调波长的极紫外光源。 方案中的同步轨道如图所示,密度分布非常均匀的稳流电子束被导入同步轨道。 同步轨道上存在磁感应强度为B的匀强磁场,电子在磁场控制下沿着固定半径的轨道做匀速圆周运动,每转一周,穿越一次加速腔,从中获得能量,如图所示。 同步加速器...
这段时间发酵的中国光刻机SSMB-EUV方案,大家都着重在同步辐射光源和自有电子激光,其实这些东西都是占比很小的部分,真正的受益者是首钢股份!! 我们先来看SSMB-EUV方案是什么。 一、SSMB技术:整合两种光源优势,或能用于改良EUV光源 该论文报告了一种新型粒子加速器光源稳态微束(SSMB)的首个原理验证实验,展示了同步...
而SSMB-EUV方案，也正是杨振宁先生与其高徒赵午的手笔。最大创意来自杨振宁先生，而他的学生赵午已经挑起来了大梁。为了解决先进光刻机供应受限的问题，清华大学提出了一种稳态微聚束技术，即通过粒子加速器加速电子来获得所需的极紫外光。SSMB-EUV最大的缺点就是体量大、消耗大、前期投入大，属于大型基础设施而非传统...
杨振宁先生作为中国物理学的泰斗之一，以其回国与贡献、对粒子对撞机项目的看法、SSMB-EUV方案的介绍以及辗转半生与物理学界的未来等方面的贡献，对于中国物理学的发展起到了重要的推动作用。他的辛勤付出和对学生的培养，为中国物理学事业注入了新的活力，并为中国的科技事业作出了卓越贡献。正是因为有了泰斗的存在和...
SSMB技术有望成为一种新型的EUV光源技术，为EUV光刻机提供新的解决方案。根据清华大学教授表示，“SSMB技术可以产生高强度、窄带宽、相干的同步辐射，在激光波长及其高次谐波上都有辐射出现。其中第13次谐波正好对应于EUV波段。”这意味着SSMB技术可以利用现有的环形加速器和激光器，来产生符合EUV光刻机要求的EUV光源，...