6、清华大学的SSMB-EUV光刻方案。各类EUV光源特点 先来说说SSMB光源，SSMB光源是其中的电子在接近光速的情况下，在磁场中偏转，会在切线方向发出电磁辐射，电子在加速器里因为磁场约束绕圈，一秒能几百万圈，相当于存储在环里，一边绕一边发射电磁波。由于电子速度非常高，数量不少，能量也就不低，发出的电磁波就很多...
”这意味着SSMB技术可以利用现有的环形加速器和激光器，来产生符合EUV光刻机要求的EUV光源，并且可以通过调节激光参数来控制EUV光源的特性。此外，SSMB技术还具有低成本、高稳定、长寿命等优势，可以有效地降低EUV光刻机的运行成本和维护难度，提高EUV光刻机的产能和可靠性。结语 光刻机是芯片制造的核心设备，也是我国...
根据论文报告基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，这个光源脉冲稳定光束比较小，并具备向更短波长扩展...
SSMB-EUV方案是由清华大学高能物理研究所的王贵林教授团队提出的一种利用高能加速器产生极紫外光源的方案。SSMB意为超导同步回旋微型回旋加速器增强器。EUV意为极紫外光。简单来说，SSMB-EUV方案就是利用一个高能加速器，将电子加速到接近光速，然后让电子在一个特殊的磁场中发射出极紫外光。这种极紫外光具有很高的能量...
清华SSMB-EUV方案的关键技术与创新点在于其光源的高功率输出和连续波输出的相干光特性。相较于传统光刻机光源,SSMB-EUV光源的功率高达10千瓦,是阿斯麦光刻机光源的40倍。这意味着,一台阿斯麦光刻机在工作时只能支持一个光源,而清华大学的SSMB-EUV光源则可以同时支持数十台光刻机。此...
”这就使得 SSMB技术能够充分发挥目前已有的环形加速装置和激光器的优势，获得满足极紫外光刻工艺需求的极紫外光源，并能够实现对其性能的调控。同时， SSMB技术具有成本低、稳定性好、使用寿命长等优点，能够显著减少 EUV光刻设备的运营成本，提升其生产效率，提升其可靠性。光刻机作为集成电路生产的关键装备，已成为国家...
一个说法是，中国可以建加速器产生EUV光源，不同频率的光源可以给28nm、14nm、7nm、5nm等多种芯片制程使用，用“光刻厂”替代ASML一台台的EUV光刻机，以出人意料的创新思维打破美国封锁。这个设想“通俗易懂”，感觉先进的国产光刻机一下有希望了。公众对SSMB-EUV这种很难懂的同步辐射光源产生兴趣，根本原因是希望...
第一个热点话题,清华大学的SSMB-EUV可不可以作为EUV光刻机的光源?理论上来说是完全没问题的。清华大学唐传祥教授在《稳态微聚束加速器光源》这篇论文当中已经比较详细地阐述了SSMB的原理、实验验证、核心问题及挑战还有SSMB在芯片光刻当中的应用潜力。并且与LPP、SR(同步辐射光源)、SRF-FEL(基于射频超导直线加速器的...
这个SSMB的EUV技术，大概可以用“中央空调”来比喻一下。EUV光源就相当于中央空调，而使用这个“中央空调”的用户就是各个芯片产线了。中央空调与单体空调的优缺点，大概就是现在这个SSMB的EUV技术，与ASML的EUV光刻机区别了。也就是说，中央空调想要将使用成本降下来，唯一的办法就是用户要多，用的人多了，当然...
而清华大学的SSMB-EUV光源，输出功率高达10 W，相当于ASML公司250 W EUV光源的四十倍以上，可以一次为几十台光刻设备提供电源，相当于一家大规模生产EUV光刻机的厂家。有人说，这不是一台光刻机，而是一台光刻炮！这种巨型设备是通过高频微波发射出一条数百纳米长的电子束。电子束在一个线性加速器空腔内被加速...