而清华大学的SSMB-EUV光源，输出功率高达10 W，相当于ASML公司250 W EUV光源的四十倍以上，可以一次为几十台光刻设备提供电源，相当于一家大规模生产EUV光刻机的厂家。有人说，这不是一台光刻机，而是一台光刻炮！这种巨型设备是通过高频微波发射出一条数百纳米长的电子束。电子束在一个线性加速器空腔内被加速...
该论文报告了一种新型粒子加速器光源，“稳态微聚束”（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。SSMB光源技术具有功率高、重频高、带宽窄、稳定性好等特质，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段，未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。大功率EUV光源是EUV光刻机的核心，光刻机巨头AS...
大力出奇迹,清华大学SSMB EUV光源方案,功率达到EUV光刻机40倍,直接将荷兰阿斯麦与台积电拍在沙滩上, 视频播放量 16103、弹幕量 9、点赞数 202、投硬币枚数 4、收藏人数 35、转发人数 20, 视频作者 围观者频道, 作者简介 大家好,这里是围观者频道,欢迎大家关注、点赞、分
证券时报e公司讯，中信证券研报认为，近期SSMB方案得到广泛关注，存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看，SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性，SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看，我国在同步辐射光源领域基础较好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS项目已完成光源出束。目前，SSMB方案已完成理论证明，项目...
近日,清华大学研发成功一种全新极紫外(EUV)光源技术“SSMB-EUV”,实现了电子束光源的瓦特级化和工业化应用。 SSMB-EUV光源的应用将可支持数十台光刻机同时工作,从根本上解决目前EUV光源功率不足的瓶颈,实现半导体制造的大规模化 - 深圳智勤芯科技于20230915发布在抖音,已经
“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源,这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。”#半导体#麒麟9000s芯片#华为#光刻机#清华大学 2190 326 166 49 发布时间:2023-09-13 07:36 全部评论 大家都在搜: 凯文 ... 如果是真的,那清华大学终于做点像样的事了。
清华大学的这个SSMB-EUV光源,功率达到了10千瓦,是ASML EUV光源250瓦功率的40倍,能够同时支持数十台光刻机,换句话说,一个大型的EUV光刻机工厂出现了。想象那个画面,都挺美好的。对此,有网友评论的非常有趣,由步枪变成了机关枪,还有网友说这哪是光刻机,这是光刻炮啊!
最后一个方案则是路线最为创新、最为颠覆性的加速器光源SSMB-EUV,即稳态微聚束极紫外光源路线,由清华大学主导。 加速器光源主要包括基于电子储存环的同步辐射SR和基于电子直线加速器自由电子激光FEL两种。我们知道EUV光刻对光源的有4方面要求:高平均功率,这样曝光速度快,利于提高生产效率;高亮度,可以降低对光刻胶的敏...
HEPS项目,与清华大学的SSMB-EUV不是同一件事儿。这期视频是在宾馆录制的。之所以这么着急,主要是我觉得这事儿还是蛮重要的,似乎需要尽快给大家说一说。
穩態微聚束EUV光源,SSMB,創世紀激光EUV產生技術,1kW功率輸出,無污染,大幅減少光刻蝕刻數目,降低成本,提升良率。冷夜蛋 立即播放 打开App,流畅又高清100+个相关视频 更多3.4万 12 36:25 App 5nm的關鍵技術,不是EUV光刻,不是買齊設備就做得來,從FET設計,到光刻,到蝕刻的工藝,還有更關鍵的技術!5nm也是中美芯...