6、清华大学的SSMB-EUV光刻方案。各类EUV光源特点 先来说说SSMB光源，SSMB光源是其中的电子在接近光速的情况下，在磁场中偏转，会在切线方向发出电磁辐射，电子在加速器里因为磁场约束绕圈，一秒能几百万圈，相当于存储在环里，一边绕一边发射电磁波。由于电子速度非常高，数量不少，能量也就不低，发出的电磁波就很多...
清华SSMB-EUV方案的关键技术与创新点在于其光源的高功率输出和连续波输出的相干光特性。相较于传统光刻机光源,SSMB-EUV光源的功率高达10千瓦,是阿斯麦光刻机光源的40倍。这意味着,一台阿斯麦光刻机在工作时只能支持一个光源,而清华大学的SSMB-EUV光源则可以同时支持数十台光刻机。此...
SSMB-EUV方案是由清华大学高能物理研究所的王贵林教授团队提出的一种利用高能加速器产生极紫外光源的方案。SSMB意为超导同步回旋微型回旋加速器增强器。EUV意为极紫外光。简单来说，SSMB-EUV方案就是利用一个高能加速器，将电子加速到接近光速，然后让电子在一个特殊的磁场中发射出极紫外光。这种极紫外光具有很高的能量...
国外是一个光源一个光刻机,咱们绕不开光源小型化的专利,那咱们就可以通过SSMB模式搞一个大型光源,与ASML的EUV相比就是不易移动,但功能一样。 业内人士表示,阿斯麦的光刻机,那叫制造,而这个SSMB-EUV方案,它不是制造,而是建造,因为它有200米之长,20米之宽,更是能够同时支持数十台光刻机工作,其实更像是一个...
近期SSMB方案得到广泛关注，我们认为存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看，SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性，SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看，我国在同步辐射光源领域基础较好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS项目已完成光源出束。目前，SSMB方案已完成理论证明，项目建设有望提上日程。若SSMB...
总的来说,传统光刻机的难度太大。要超越,走新路或必不可少,SSMB-EUV方案可能是绕过传统光刻机玩法的一条可以尝试的新路。 从目前的说法来看,这玩意一个典型特点就是大,核心是单独建一个光源提供器,然后其他的光刻芯片的技术可以集成在一个大型工具内,由光源发生器向这个工具提供需要的精度的光源,进而达到大规...
清华大学的这个SSMB-EUV光源,功率达到了10千瓦,是ASML EUV光源250瓦功率的40倍,能够同时支持数十台光刻机,换句话说,一个大型的EUV光刻机工厂出现了。想象那个画面,都挺美好的。对此,有网友评论的非常有趣,由步枪变成了机关枪,还有网友说这哪是光刻机,这是光刻炮啊!
大力出奇迹,清华大学SSMB EUV光源方案,功率达到EUV光刻机40倍,直接将荷兰阿斯麦与台积电拍在沙滩上, 视频播放量 16914、弹幕量 9、点赞数 203、投硬币枚数 4、收藏人数 38、转发人数 20, 视频作者 老A的杂谈, 作者简介 大家好,这里是老A的杂谈,欢迎大家关注、点赞、分享!
SSMB技术有望成为一种新型的EUV光源技术，为EUV光刻机提供新的解决方案。根据清华大学教授表示，“SSMB技术可以产生高强度、窄带宽、相干的同步辐射，在激光波长及其高次谐波上都有辐射出现。其中第13次谐波正好对应于EUV波段。”这意味着SSMB技术可以利用现有的环形加速器和激光器，来产生符合EUV光刻机要求的EUV光源，...
证券时报e公司讯,中信证券研报认为,近期SSMB方案得到广泛关注,存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看,SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性,SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看,我国在同步辐射光源领域基础较好,在核心零部件自主可控的前提下,HEPS项目已完成光源出束。目前,SSMB方案已完成理论证明,项目建设有...