6、清华大学的SSMB-EUV光刻方案。各类EUV光源特点 先来说说SSMB光源，SSMB光源是其中的电子在接近光速的情况下，在磁场中偏转，会在切线方向发出电磁辐射，电子在加速器里因为磁场约束绕圈，一秒能几百万圈，相当于存储在环里，一边绕一边发射电磁波。由于电子速度非常高，数量不少，能量也就不低，发出的电磁波就很多...
简单来说，SSMB-EUV方案就是利用一个高能加速器，将电子加速到接近光速，然后让电子在一个特殊的磁场中发射出极紫外光。这种极紫外光具有很高的能量和波长，可以用来驱动光刻机进行芯片制造。而且，这种方案可以让一个高能加速器同时为多台光刻机提供极紫外光源，实现高效率、低成本、高精度的芯片制造。光刻机的原理...
大力出奇迹,清华大学SSMB EUV光源方案,功率达到EUV光刻机40倍,直接将荷兰阿斯麦与台积电拍在沙滩上, 视频播放量 16103、弹幕量 9、点赞数 202、投硬币枚数 4、收藏人数 35、转发人数 20, 视频作者 围观者频道, 作者简介 大家好,这里是围观者频道,欢迎大家关注、点赞、分
目前，EUV光刻机使用的是基于气体放电或激光等离子体产生EUV光源的技术，这种技术存在着效率低、功率不稳、寿命短等问题，导致EUV光刻机的成本高、产能低、可靠性差。寻找一种更高效、更稳定、更持久的EUV光源技术，是EUV光刻机发展的关键所在。SSMB技术有望成为一种新型的EUV光源技术，为EUV光刻机提供新的解决方...
清华大学的这个SSMB-EUV光源,功率达到了10千瓦,是ASML EUV光源250瓦功率的40倍,能够同时支持数十台光刻机,换句话说,一个大型的EUV光刻机工厂出现了。想象那个画面,都挺美好的。对此,有网友评论的非常有趣,由步枪变成了机关枪,还有网友说这哪是光刻机,这是光刻炮啊!
“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源,这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因。”#半导体#麒麟9000s芯片#华为#光刻机#清华大学 2190 326 166 49 发布时间:2023-09-13 07:36 全部评论 大家都在搜: 凯文 ... 如果是真的,那清华大学终于做点像样的事了。
近日,清华大学研发成功一种全新极紫外(EUV)光源技术“SSMB-EUV”,实现了电子束光源的瓦特级化和工业化应用。 SSMB-EUV光源的应用将可支持数十台光刻机同时工作,从根本上解决目前EUV光源功率不足的瓶颈,实现半导体制造的大规模化 - 深圳智勤芯科技于20230915发布在抖音,已经
唐传祥教授表示：“基于SSMB的EUV光源有望实现更大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力。”我们认为清华大学在SSMB光源技术上的研究成果为大功率EUV光源的突破提供了全新的解决思路，有望加速国产光刻技术领域攻关，建议关注国产光刻机产业链。以上内容仅供学习交流，不构成投资建议。精选报告来源：远瞻智库 ...
最近几天,随着华为Mate 60的问世,麒麟9000S的热度居高不下。随着这次的突破,大家纷纷猜测,是不是国产光刻机也有了大进展。据报道,清华大学正在搞一个新的EUV光源方案,他就是SSMB-EUV光源。本期视频,我们就来了解一下这个光源是什么,有什么作用。 万大叔 每天解读中国科技的那点事儿 认证作者 已在虎嗅发表 41...
清华大学SSMB团队的研究方向主要集中在稳态微聚束EUV光源的研发上。这一技术有望为EUV光刻机提供新的技术路线,解决当前EUV光源功率低、波长难以进一步缩短等瓶颈问题。团队通过深入的理论分析和数值模拟,不断优化SSMB光源的设计方案,并在实验中取得了重要突破。 2021年2月24日,清华大学SSMB...