清华大学ssmb-euv光源的价值有多大如下：清华大学研发的10千瓦SSMB-EUV光源具备同时为数十台光刻机提供能量的能力，这意味着同一时间内能生产的芯片数量将大幅度提升。这种巨型设备是通过高频微波发射出一条数百纳米长的电子束。电子束在一个线性加速器空腔内被加速至400MeV左右。然后将电子束注入展束环，...