SSMB-EUV光源:科学与应用的新篇章 稳态微聚束加速器光源(SSMB-EUV)是一种创新的光源技术,通过激光操控储存环中的电子,形成具有精微纵向/时间结构的电子束团,即微聚束。这种技术结合了微聚束辐射的强相干特性与储存环内电子束的高回旋频率特性,从而提供高平均功率、窄带宽的相干辐射,波段覆盖从太赫兹到软X射线。这...
由清华大学主导的SSMB,已经在雄安选址开工建设1千瓦级SSMB-EUV光源,投资在10亿量级。 当然,SSMB技术进展不可能赶上首台国产EUV光刻机,尽快达成实用工程化还得指望上海光机所的LPP-EUV或者哈工大的DPP-EUV。 显然EUV光刻关键技术备受社会关注,有声音认为只要我们能够自己制造出一台EUV光刻机,国内半导体产业发展问题就...
清华大学研究的新型 SSMB-EUV 光刻技术,用于提供高强度、 可调波长的极紫外光源。 方案中的同步轨道如图所示,密度分布非常均匀的稳流电子束被导入同步轨道。 同步轨道上存在磁感应强度为B的匀强磁场,电子在磁场控制下沿着固定半径的轨道做匀速圆周运动,每转一周,穿越一次加速腔,从中获得能量,如图所示。 同步加速器...
由清华大学主导的SSMB,已经在雄安选址开工建设1千瓦级SSMB-EUV光源,投资在10亿量级。 当然,SSMB技术进展不可能赶上首台国产EUV光刻机,尽快达成实用工程化还得指望上海光机所的LPP-EUV或者哈工大的DPP-EUV。 显然EUV光刻关键技术备受社会关注,有声音认为只要我们能够自己制造出一台EUV光刻机,国内半导体产业发展问题就...
由清华大学主导的SSMB,已经在雄安选址开工建设1千瓦级SSMB-EUV光源,投资在10亿量级。 当然,SSMB技术进展不可能赶上首台国产EUV光刻机,尽快达成实用工程化还得指望上海光机所的LPP-EUV或者哈工大的DPP-EUV。 显然EUV光刻关键技术备受社会关注,有声音认为只要我们能够自己制造出一台EUV光刻机,国内半导体产业发展问题就...
唐传祥教授表示：“基于SSMB的EUV光源有望实现更大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力。”我们认为清华大学在SSMB光源技术上的研究成果为大功率EUV光源的突破提供了全新的解决思路，有望加速国产光刻技术领域攻关，建议关注国产光刻机产业链。以上内容仅供学习交流，不构成投资建议。精选报告来源：远瞻智库 ...
清华大学的这个SSMB-EUV光源,功率达到了10千瓦,是ASML EUV光源250瓦功率的40倍,能够同时支持数十台光刻机,换句话说,一个大型的EUV光刻机工厂出现了。想象那个画面,都挺美好的。对此,有网友评论的非常有趣,由步枪变成了机关枪,还有网友说这哪是光刻机,这是光刻炮啊!
而清华大学的SSMB-EUV光源，输出功率高达10 W，相当于ASML公司250 W EUV光源的四十倍以上，可以一次为几十台光刻设备提供电源，相当于一家大规模生产EUV光刻机的厂家。有人说，这不是一台光刻机，而是一台光刻炮！这种巨型设备是通过高频微波发射出一条数百纳米长的电子束。电子束在一个线性加速器空腔内被加速...
最近几天,随着华为Mate 60的问世,麒麟9000S的热度居高不下。随着这次的突破,大家纷纷猜测,是不是国产光刻机也有了大进展。据报道,清华大学正在搞一个新的EUV光源方案,他就是SSMB-EUV光源。本期视频,我们就来了解一下这个光源是什么,有什么作用。 万大叔 每天解读中国科技的那点事儿 认证作者 已在虎嗅发表 43...
SSMB-EUV同步..同步辐射光源是指产生同步辐射的物理装置,它是一种利用相对论性电子(或正电子)在磁场中偏转时产生同步辐射的高性能新型强光源。电子同步加速器的出现,特别是电子储存环的发展,推动了同步辐射的广泛应用。同步辐