清华SSMB-EUV方案是由赵午与其学生共同提出,利用加速器产生的同步辐射与自由电子激光相结合,成功输出单色性极好的EUV极紫外光,光源功率超过1000W,打破了光刻机光源的技术瓶颈。 清华SSMB-EUV方案 清华SSMB-EUV方案的基本概述 清华SSMB-EUV方案是一项旨在解决光刻机光源技术瓶颈的重大突破...
清华大学SSMB-EU方案 SSMB-EUV光源做光刻机的优点是:仅仅三块反射镜(因为SSMB-EUV光源比LPP-EUV光源要纯净),镜片面积要求也小得多,只需十分之一。优点显然,光源质量比ASML的EUV光刻机强,整机开发难度下降不少,镜片的要求也降低了。这样就可以很好地解决光源小型化的问题了。清华大学的SSMB-EUV方案通俗地...
大力出奇迹,清华大学SSMB EUV光源方案,功率达到EUV光刻机40倍,直接将荷兰阿斯麦与台积电拍在沙滩上, 视频播放量 16103、弹幕量 9、点赞数 202、投硬币枚数 4、收藏人数 35、转发人数 20, 视频作者 围观者频道, 作者简介 大家好,这里是围观者频道,欢迎大家关注、点赞、分
重磅炸弹,清华EUV光刻机方案,利用环形加速约束粒子的方案,实现即可直接制造出一个重型的光刻机工厂,并且可以根据需求直接筛选出各种精度尺寸的光源对应的光刻机。 万物研究所 知识 人文历史 中国 华为 SSMB 清华EUV光刻机 清华 芯片 精度 光刻机 ASML
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清华大学国产光刻机使用粒子加速器代替传统光刻机生产芯片,能够覆盖14纳米到1纳米的工艺方案一出,清华大学的SSMB技术(超级同步多光束技术)提供了一种新的超高功率光源,波长覆盖范围远超传统EUV光刻机,这方案一旦转入投产使用,将会彻底的让外国震惊。光凭借方案的公布,已让ASML公司的领导懵了,让台积电强烈不满!他们...
大力出奇迹,清华大学SSMB EUV光源方案,功率达到EUV光刻机40倍,直接将荷兰阿斯麦与台积电拍在沙滩上, 视频播放量 16914、弹幕量 9、点赞数 203、投硬币枚数 4、收藏人数 38、转发人数 20, 视频作者 老A的杂谈, 作者简介 大家好,这里是老A的杂谈,欢迎大家关注、点赞、分享!
重磅炸弹,清华EUV光刻机方案,利用环形加速约束粒子的方案,实现即可直接制造出一个重型的光刻机工厂,并且可以根据需求直接筛选出各种精度尺寸的光源对应的光刻机。万物研究所 知识 人文历史 华为 中国 SSMB 清华EUV光刻机 精度 清华 芯片 光刻机 ASML 万物研究所·奖学金计划...