并且根据今年年初官方的消息,SSMB-EUV光源落户雄安。 其实早期的极紫外光也是靠大型电子加速器获取的,但是为了将EUV光刻机商品化,所以对EUV光源进行了小型化改造,所以其技术难度也很高。 当然,有了SSMB-EUV光源,不意味着传统的EUV光源我们就不搞了。例如,头一段时间,长春光机所公开了一批省科技奖提名项目,其中有五...
Progress of Tsinghua SSMB EUV Light Source Development 清华SSMB EUV光源研制进展.pdf,Progress of Tsinghua SSMB EUV Light Source Development Xiujie Deng, Tsinghua University, Beijing, China On behalf of the SSMB Collaboration 2021 EUVL Workshop, Held Onlin