根据SEMI 2022年数据,按照PECVD在晶圆制造前端设备占比8%左右预计,全球半导体PECVD设备市场规模约80-82亿美金。 光伏电池PECVD设备采购方面,电池生产厂商一般是整线采购,包括PVD和其他CVD设备,乃至退火、清洗等设备,一条产线一般设备供货6个月,调试期3-6个月。PECVD产线设备总投资额约为1.6-1.8亿元/GW,约占整线设...
APCVD://常压化学气相淀积 HDPCVD://高密度等离子体化学气相淀积 LPCVD://低压化学气相淀积 PECVD://等离子体增强化学气相淀积 PVD://物理气相淀积 BJT:双极型晶体管 CD://关键尺寸 CMOS:互补金属氧化物半导体 CMP:化学机械平坦化 MIC://可动离子玷污 ILD://层间介质 MBE://分子束外延 SOI:绝缘体上硅 DUV:...
手西建百交百起世出资手西建百交百起世出资APCVD、LPCVD、PECVD、SPCVD、HDPCVD、MOCVD、VPE、MBE等都属于CVD反应类型。( )手西建
MPCVD PECVD、HDPCVD、PE-ALD ALD MOCVD LPCVD PVD、CVD、ALD PECVD、PVD PECVD、CVD
百度试题 题目有哪些化学气相沉积的方法? A.APCVDB.PECVDC.MOCVDD.LPCVD相关知识点: 试题来源: 解析 ABCD 反馈 收藏
根据市场调查机构Acumen Research and Consulting预测,由于半导体先进制程产线数量增加,2026年全球ALD设备市场规模约为32亿美元。但由于ALD的沉积速率较慢,综合考虑速率、性能等指标,ALD仍无法完全替代LPCVD/PECVD方法。 MOCVD设备 MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition),金属有机化合物化学气相沉积,工艺流程上与传...