这个专利概述中不是说了嘛,紫外窄光谱,这个说的是激发光源是NUV谱400-300nm的汞灯光源,也就是i-line 对应365nm波长光源线。但是这个按国内的镜头只能做到200nm精度。 国内现在拿出成品销售的上海微电子SEEE,可做IC前道加工的600系列光刻机。i-line汞灯光源,只能加工200nm, 后面有用ARF和KRF激光光源的。也只到1...
【通过定制产品绕过出口管制,日企要开拓中国光刻机市场?】据《日本经济新闻》近日报道,日企尼康计划2024年面向市场推出光刻机新品,使用上世纪90年代初的“i-line”老一代光源技术,来绕开日本对先进半导体进行的出口管制。报道称,这是尼康时隔25年后第一次推出新产品。为拯救经营颓势,日本光刻机企业打算定制产品,绕...
一、光刻机: 光刻机经历了5代产品发展,按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影光刻机和极紫外式光刻机。 光源是光刻机的核心构成之一,其波长决定了光刻机的工艺能力。光刻机根据光源不同可分成紫外(UV)光刻机、深紫外(DUV)光刻机、极...
p{font-size:10.5pt;line-height:150%;margin:0;padding:0;}td{font-size:10.5pt;}某同学使用激光器作光源.在不透光的挡板上开一条缝宽为0.05 mm的窄缝.进行光的衍射实验.如图甲所示.则他在光屏上看到的条纹是图乙中的
p{font-size:10.5pt;line-height:150%;margin:0;padding:0;}td{font-size:10.5pt;}植物在单侧光照射下弯向光源生长.这个现象被解释为“单侧光照射能够使生长素在背光一侧比向光一侧分布多 .为什么生长素在背光一侧比向光一侧分布多呢?是因为向光侧的生长素在光的影响下被分
p{font-size:10.5pt;line-height:150%;margin:0;padding:0;}td{font-size:10.5pt;}如图所示.从点光源S发出的一细束白光以一定的角度入射到三棱镜的表面.经过三棱镜的折射后发生色散现象.在光屏的ab间形成一条彩色光带.下面的说法中正确的是 A.a侧是红色光.b侧是紫色