Au-Al键合在温冲条件下具有较好的抗热疲劳性能,键合拉力在合格范围内,键合电阻随着试验周期的增加而增大;高温应力导致Au_Al键合界面形成电阻率较高的化合物,引起键合电性能退化。在150℃和175℃高温试验中,Au-AI键合电阻随着存储时间的增加逐渐增大,在200℃高温试验中部分键合电阻出现了急剧增大的现象,而 Al_Au键合...
键合测试结构和数据采集系统,采用温度冲击和高温贮存等试验方法对Au-Al键合系统在严酷环境中的失效机理及其退化规律展开了研究,主要得到了如下结论:Au-Al键合在温冲条件下具有较好的抗热疲劳性能,键合拉力在合格范围内,键合电阻随着试验周期的增加而增大;高温应力导致Au_Al键合界面形成电阻率较高的化合物,引起键合电...
要的 Au A 键合系统的可靠性问题已经研究多年 通常采用高温贮存试验 2\4 来考核其键合可靠性认 为 Au A 键合系统经高温贮存后会产生多种金属间 化合物 5\9 和 Kirkenda 空洞 1011 导致 Au A 键 合强度下降接触电阻增大甚至开路从而引起器件失 效 随着半导体产品应用范围不断扩展器件在恶劣 环境下的应用越来...
因此抑制au-al之间金属间化合物的形成和长大是提高au-al键合强度和可靠性的重要途径。现有的au-al键合方法中主要通过优化键合参数尽量减少键合时的金属间化合物形成,但是该方法对工艺稳定性的要求很高,而且无法阻止在后期使用过程中金属间化合物的进一步生长问题,导致键合界面的可靠性较差,进而影响半导体器件的功能和使用...
摘要: 本文介绍了Au-Al键合系统的失效机理及其对器件可靠性的影响,并以具体实例说明了Au-Al键合系统生成金铝间化合物和Kirkendall(柯肯德尔)空洞导致器件失效,最后,提出了相应的预防措施。关键词: Au-Al键合系统 金铝间化合物 Kirkendall空洞(柯肯德尔空洞) ...
Au-Al引线键合的可靠性(英文)ThereliabilityofAu-Alsysteminwirebonding Content 1.Background2.Principle3.EvolutionofIMCsinAu/Al&Al/Au4.TheIMCformationinAu-Aldiffusioncouples Background WireBonding(WB)takesmorethan90%inchipinterconnecting.Andabout25%failureoccursinWBjoints，especiallyinAu-Aljoints.Au-Al...
本文设计了专用键合测试结构和数据采集系统,采用温度冲击和高温贮存等试验方法对Au-Al键合系统在严酷环境中的失效机理及其退化规律展开了研究,主要得到了如下结论: Au-Al键合在温冲条件下具有较好的抗热疲劳性能,键合拉力在合格范围内,键合电阻随着试验周期的增加而增大;高温应力导致Au-Al键合界面形成电阻率较高的化合物...
Au-Al共晶键合在MEMS器件封装中应用的研究 肖斌;邝云斌;虢晓双;侯占强 【期刊名称】《传感器与微系统》 【年(卷),期】2022(41)7 【摘要】针对微机电系统(MEMS)器件在实际应用中出现的真空封装可靠性低的问题,进行了Au-Al共晶键合实验研究。重点研究了键合金属层的厚度、键合温度和作为键合区域的密封圈的结构对...
基于温冲环境的Au—Al键合特性研究 维普资讯 http://www.cqvip.com
Al、Au、Cu焊丝在引线键合中的比较 一.三种元素的优缺点 Al: 优点;三者中价格最低、资源丰富; 缺点:电阻率高,热导性能差,机械强度低,难以适应中小功率器件小面积小焊位的生产需要,但可在铝成份中添加1%的硅,可增强铝线强度,适应于小直径;焊点大,需要Pad尺寸大,降低了芯片效率。 Au: 优点:90%的封装企业使用...