但与此同时，ASML在中国大陆的业务，不断受到地缘政治的干扰。过去数年来，在极紫外光刻机（EUV）受到出口管制后，ASML比较先进的DUV机台TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统，以及TWINSCAN NXT:1970i和1980i型号浸润式DUV光刻系统等，也相继受到出口管制，需要向荷兰政府申请许可证才能向中国大陆出口。在上...
虽然浸入式光刻机的构思非常巧妙，但从工程角度看，它并不难完成。ASML 很快就按照设计制造出了 134 纳米波长光源的浸入式光刻机，TWINSCAN AT:1150i。2006 年 ASML 推出了第一台批量生产的浸入式机器 XT:1700i。2008 年又推出了 TWINSCAN NXT:1950i 可用于 32 纳米芯片的量产，并迅速推动 ASML 开发出一系列...
根据ASML官网的介绍，TWINSCAN NXT:1980Di 的分辨率可以达到≤38nm，每小时可以生产275片晶圆。据芯智讯了解，NXT:1980Di 虽然分辨率在38nm左右，但是通过多重曝光，依然可以支持到7nm左右。只不过，这样步骤更为复杂，成本更高，良率可能也会有损失。据说台积电的第一代7nm工艺也是基于 NXT:1980Di 实现的。不过，...
The TWINSCAN NXT:1470 is built on the latest version of our NXT high-throughput, high-precision system architecture, featuring improved wafer stages and wafer handlers. Combined with the enhanced optics and improved lens and reticle heating control, it enables on-product overlay below 4.5 nm – w...
ASML在2024年我们不会缺浸润式DUV光刻机 众所周知，ASML是全球领先的半导体光刻机制造商，其最先进的浸润式DUV光刻机在当前半导体工艺中扮演着至关重要的角色。然而，2024年初，ASML突然被迫宣布他们的两张许可证被吊销，其中包括最先进的NXT:2050i和NXT:2100i光刻机。这一消息无疑引起了人们的担忧，尤其是对...
不过，近日，ASML正式确认，不只是NXT:2050i和NXT:2100i，低端浸润式DUV光刻机，也受到限制了。ASML表示称，“个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i 和 NXT:1980Di 浸没式DUV设备的许可证。”这个“个别晶圆厂”是谁，估计不用我多说了吧，被列入美国“实体清单”的中国晶圆厂，大家都心里有数的...
The TWINSCAN NXT:2050i is a high-productivity, dual-stage immersion lithography tool designed for volume production of 300 mm wafers at advanced nodes.
半导体最强战队ASML：硬核来华，深耕中国市场不动摇 2024年第七届进博会上，荷兰光刻机巨头ASML带来了一场科技盛宴，首次向公众展示了其全景光刻解决方案。作为全球光刻机行业的领军企业，ASML此次重磅推出三款深紫外光刻机（DUV）产品：NXT1470、NXT870和XT260，以及一款量测设备eScan 1100。从展台布置即可看出ASML对...
1月1日，ASML在官网发布声明称，其NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部分撤销，影响了少数中国大陆客户。ASML称，公司在最近与美国政府的讨论中，进一步明确了美国出口管制法规的范围和影响。ASML表示，预计目前出口许可证的撤销或最新的美国出口管制限制不会对2023年的财务前景产生重大影响，该公司...
然而，最近，ASML正式确认，不仅是NXT:2050i和NXT:2100i，低端浸润式DUV光刻机也受到了限制。ASML表示：“个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i和NXT:1980Di浸没式DUV设备的许可证。”这里所指的“个别晶圆厂”无疑是指被列入美国“实体清单”的中国晶圆厂，这一点大家都非常清楚。2023年10月，美国...