With ASML’s immersion technology at its core, the NXT:1980Fi offers a resolution of 38 nm, 2.5 nm machine-matched overlay and a throughput of 330 wafers per hour. The system benefits from a series of structural improvements that were introduced in the latest NXT platform and allow the syst...
在DUV系统方面,2023年销售额同比增长60%,达到123亿欧元,包括396个系统的确认收入,其中包括125个浸没式DUV系统(相比上年增加了44套),ArFdry、KrF及i-Line系统的销量也均有增长,分别达到了32套、184套和55套。在此期间,ASML还交付了第一台NXT:1980Fi浸入式系统以及XT:400M i-line系统。另外,由于YieldSt...
EUV光刻机主要对应制程在7nm以下,也是国内一直无法获得的产品。受到中国客户关注的主要产品是DUV光刻机,型号包括XT1900以及NXT系列,其中NXT又分为比较成熟的NXT1980和相对先进的NXT2000/2050/2100,对应制程约在38nm以下。相同型号的光刻机也会有细分分类,比如NXT 1980系列中也区分Ei、Di、Fi等版本,这种分类主要...
曾几何时,我们在光刻机领域,始终将ASML作为主要的追赶对象,包括此次目录中引发争议的套刻指标≤8nm的氟化氩光刻机,业内也都是将其与ASML类似的机型作为对比(目的是为了推断出咱们这款光刻机的实际水平),例如我们之前提及的ASML于2015年二季度出货的TWINSCAN XT 1460K,也有的将其与ASML的TWINSCAN NXT 1980Fi对比...
ASML的DUV是TWINSCAN NXT,XT系列产品。 NXT系列产品有:1965Ci,1980Di,1980Fi,2000i,2050i,2100i,因时间有限,大家可以去自行搜集其相关机台型号,参数。 欢迎加入我的半导体制造知识星球社区,目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升半导体制...
"引进浸入式系统NXT:1980Fi和干式系统XT:400M;下一代扫描仪的持续开发,包括NXT:2150i和NXT:870B。与此同时,生产力包和新的服务模式也有了多项进展,重点是增加客户安装群中的"日合格晶圆” 继续投资于电子束检测、电子束计量和Yieldstar光学计量。此外,确保多光束检测路线图,并不断扩大在整体软件应用领域的投资 ...
曾几何时,我们在光刻机领域,始终将ASML作为主要的追赶对象,包括此次目录中引发争议的套刻指标≤8nm的氟化氩光刻机,业内也都是将其与ASML类似的机型作为对比(目的是为了推断出咱们这款光刻机的实际水平),例如我们之前提及的ASML于2015年二季度出货的TWINSCAN XT 1460K,也有的将其与ASML的TWINSCAN NXT 1980Fi对比...
曾几何时,我们在光刻机领域,始终将ASML作为主要的追赶对象,包括此次目录中引发争议的套刻指标≤8nm的氟化氩光刻机,业内也都是将其与ASML类似的机型作为对比(目的是为了推断出咱们这款光刻机的实际水平),例如我们之前提及的ASML于2015年二季度出货的TWINSCAN XT 1460K,也有的将其与ASML的TWINSCAN NXT 1980Fi对比...
曾几何时,我们在光刻机领域,始终将ASML作为主要的追赶对象,包括此次目录中引发争议的套刻指标≤8nm的氟化氩光刻机,业内也都是将其与ASML类似的机型作为对比(目的是为了推断出咱们这款光刻机的实际水平),例如我们之前提及的ASML于2015年二季度出货的TWINSCAN XT 1460K,也有的将其与ASML的TWINSCAN NXT 1980Fi对比...
在DUV系统方面,2023年销售额同比增长60%,达到123亿欧元,包括396个系统的确认收入,其中包括125个浸没式DUV系统(相比上年增加了44套),ArFdry、KrF及i-Line系统的销量也均有增长,分别达到了32套、184套和55套。在此期间,ASML还交付了第一台NXT:1980Fi浸入式系统以及XT:400M i-line系统。