虽然浸入式光刻机的构思非常巧妙,但从工程角度看,它并不难完成。ASML很快就按照设计制造出了134纳米波长光源的浸入式光刻机,TWINSCAN AT:1150i 。2006年ASML推出了第一台批量生产的浸入式机器 XT:1700i。2008年又推出了TWINSCAN NXT:1950i可用于32纳米芯片的量产,并迅速推动ASML开发出一系列用于亚32纳米制程节...
目前ASML在售的浸没式光刻机主要有三大型号:TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。根据ASML的解读,其TWINSCAN NXT:2000i及之后的浸没式光刻系统将会受到出口限制。这也意味着,TWINSCAN NXT:1980Di 仍将可以出口。根据ASML官网的介绍,TWINSCAN NXT:1980Di 的分辨率可以达到≤38nm,每小...
虽然浸入式光刻机的构思非常巧妙,但从工程角度看,它并不难完成。ASML 很快就按照设计制造出了 134 纳米波长光源的浸入式光刻机,TWINSCAN AT:1150i。2006 年 ASML 推出了第一台批量生产的浸入式机器 XT:1700i。2008 年又推出了 TWINSCAN NXT:1950i 可用于 32 纳米芯片的量产,并迅速推动 ASML 开发出一系列...
ASML旗下光刻机 其后ASML则公布了光刻机领域的管制细则,TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统必须取得许可证才可以进行销售。低端的TWINSCAN NXT:1980i则不在管制名单之中。TWINSCAN NXT:1980i的分辨率为38nm,只有通过多重曝光技术的支持才能实现28nm和14nm制程的芯片工艺。但多重曝光技术也会显著增加制...
不过,从9月7日起,情况又发生了变化,那就荷兰和美国沟通,将NXT:1970i 和 NXT:1980i这两款浸润式光刻机的许可证颁发权,拿到了回来。也就是说,以后购买这两款机器,美国不再干涉,只要荷兰政府颁发许可证即可了,荷兰说了算了。这对于荷兰、ASML而言,肯定是一件大好事,毕竟自己的东西,自己说了不算,要...
对此,ASML方面给出了明确解释。ASML表示,荷兰这次新规主要针对NXT:1970i和NXT:1980i这两款型号DUV,确定颁发出口许可证的主体是荷兰政府,不是美国。这意思就是,ASML以后出货1970i和1980i浸润式DUV光刻机,只需要向荷兰政府申请许可。ASML还强调,预计不会对他们2024年及未来的财务前景产生影响。等于是,1970i和...
这次,荷兰政府在出口禁令中新增了两款浸没式光刻机,分别是TWINSCAN NXT:1970i和NXT:1980i。而之前,荷兰所限制的主要是TWINSCAN NXT:2000i和后面的DUV浸没式系统。从现在开始,购买这两种旧款DUV需要向荷兰申请出口许可证。荷兰对DUV设备的出口有严格的限制。ASML不能直接向中国大陆的公司出售NXT:2000i及其后续的...
在此之前,荷兰政府已限制ASML尔对中国出口先进制程设备,主要是极紫外光刻机(EUV)。现在最新规定将影响另外两种工具,包括TWINSCAN NXT:1970i 和1980i 两种DUV 系统,以用于生产电脑芯片。ASML是极紫外(EUV)光刻系统的唯一供应商,这些系统是制造尖端芯片所必需的,也是较不先进的深紫外(DUV)系统的主要供应商...
尽管ASML尚未收到有关“最先进”确切定义的任何其他信息,但ASML将其解释为“关键浸没式光刻设备”,ASML将其定义为TWINSCAN NXT:2000i及之后的浸没式光刻系统。ASML指出,主要关注成熟节点的客户可以继续使用不太先进的浸没式光刻工具。在今年3月份的出口管制条例中,1980Di是未受影响的,而本次美国出口新规将会导致...
荷兰政府,又要坑惨ASML?对华半导体管制,又一次加强。今日,光刻机巨头ASML在官网发布声明称,荷兰政府已公布了浸润式DUV光刻机出口新规,自9月7日起,ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运两款较为低端的DUV光刻机(TWINSCAN NXT:1970i和1980i)。此前,ASML高端DUV光刻机(TWINSCAN NXT:2000i及后续版本...