硅基MEMS制造技术被广泛应用于惯性传感器领域。通过制造微小的加速度计和陀螺仪等传感器,可以实现对物体姿态、加速度等参数的测量。惯性传感器广泛应用于航空航天、汽车、手机等领域。 2. 压力传感器 利用硅基MEMS制造技术制作的压力传感器具有高灵敏度、良好的线性度和稳定性。压力传感器常用于医疗、汽车、工业等领域
硅基MEMS制造技术中存在一些关键技术,如下: 1. 光刻技术 光刻技术是制造MEMS的关键技术之一,它决定了芯片的分辨率和精度。目前,常用的光刻技术包括:紫外线光刻、电子束光刻和X射线光刻。 2. 蚀刻技术 蚀刻技术是将光刻所形成的图形转移到硅基材料上的关键步骤。湿法蚀刻和干法蚀刻各有优缺点,需要根据制造需求选择...
硅基MEMS制造技术 王跃林等编著 工业技术·机械/仪表工业·0字 完本| 更新时间 随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用,MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺...
显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多,为了让...
通过硅基MEMS制造技术领域中美两国专利情况比对分析,可以得出以下结论: 一、美国专利数量远多于中国专利,国外技术研发水平大幅领先。经过对比可知,硅基MEMS制造技术领域美国专利数量远多于中国。其中,美国授权专利数量达4411件,公开专利申请总量达6648件。而该领域已公开中国专利申请总量为1799件,其中发明专利为1659件,实用...
显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多,为了让...
因此,尽管MEMS芯片制造利用了集成电路工艺,但与集成电路制造有明显的不同,如何利用集成电路平面工艺实现三维微机械结构的大规模批量制造是硅基MEMS芯片制造的关键所在。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的大规模批量制造,来系统介绍硅基MEMS制造技术。 MEMS的范畴很广,涉及微...
本文提出的硅基MEMS技术制造的温度电导率芯片具有工艺流程简单,制备容易等特点,可以降低成本,且电导池结构和电极形状的设计还使测量探头具备一定的抗污染性能。测试实验证实了芯片具有良好的性能。 1 测量原理与集成芯片结构 温度对于溶液电导率有很大的影响,且其影响程度依溶液的不同而不同。在测量电导率时通常使用...
集成电路技术路线清晰,主攻产品明确,自然会得到资本市场的青睐,其发展神速是自然而然的事情。 遗憾的是,MEMS不仅无基本单元,也没有主流产品。与集成电路不同,MEMS的核心是微机械结构,微机械结构多种多样,但目前还没有一种像晶体管那样功能强大的微机械结构,因此研发目标难以集中在特定的微机械结构上,研究目标分散,研...
硅基MEMS制造技术 王跃林 等 加入书架开始阅读 随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用,MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路...