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GB/T 32814-2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf,国家推荐性标准,业内常用技术规范,备之有益。ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32814 2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo — gy Sec
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书籍类型:Epub+Txt+pdf+mobi 创建日期:2022-07-09 09:10:02 发布日期:2025-02-03 连载状态:全集 书籍作者:王跃林 ISBN:9787121432088 运行环境:pc/安卓/iPhone/iPad/Kindle/平板 内容简介 随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用,MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,...
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GB/T 28274-2012硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则发布用户: 发布时间:2024-11-07 文件类别:正版文档文件格式:PDF 文件大小:0.00MB下载正版规范标准文档 下载所需积分:0 资料描述: GB/T 28274-2012硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 首页|关于我们|下载中心|会员中心|帮助中心|行业资讯|联系方式 Copyright ...
GB/T 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范发布用户: 发布时间:2024-11-07 文件类别:正版文档文件格式:PDF 文件大小:0.00MB下载正版规范标准文档 下载所需积分:0 资料描述: GB/T 28275-2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 首页|关于我们|下载中心|会员中心|帮助中心|行业资讯|联系方式 ...