硅基MEMS制造技术被广泛应用于惯性传感器领域。通过制造微小的加速度计和陀螺仪等传感器,可以实现对物体姿态、加速度等参数的测量。惯性传感器广泛应用于航空航天、汽车、手机等领域。 2. 压力传感器 利用硅基MEMS制造技术制作的压力传感器具有高灵敏度、良好的线性度和稳定性。压力传感器常用于医疗、汽车、工业等领域的气...
硅基MEMS制造技术中存在一些关键技术,如下: 1. 光刻技术 光刻技术是制造MEMS的关键技术之一,它决定了芯片的分辨率和精度。目前,常用的光刻技术包括:紫外线光刻、电子束光刻和X射线光刻。 2. 蚀刻技术 蚀刻技术是将光刻所形成的图形转移到硅基材料上的关键步骤。湿法蚀刻和干法蚀刻各有优缺点,需要根据制造需求选择...
显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多,为了让...
硅基MEMS制造技术 王跃林等编著 工业技术·机械/仪表工业·0字 完本| 更新时间 随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用,MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺...
显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行,但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同,这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的批量制造,系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多,为了让...
第三节 MEMS 系统级封装 3.1 MEMS封装介绍 微型机电系统MEMS是利用微芯片技术将机械部件、传感器、执行器和机电部件集成到硅层上的结果。一般来说,MEMS由微结构、微传感器、微执行器和微电子元… 阅读全文 聚氯乙烯薄膜人造刨花板 知乎用户rP4gto 部分国内大型人造板设备制造企业: √上海人造板机器厂 √苏福马...
通过硅基MEMS制造技术领域中美两国专利情况比对分析,可以得出以下结论: 一、美国专利数量远多于中国专利,国外技术研发水平大幅领先。经过对比可知,硅基MEMS制造技术领域美国专利数量远多于中国。其中,美国授权专利数量达4411件,公开专利申请总量达6648件。而该领域已公开中国专利申请总量为1799件,其中发明专利为1659件,实用...
本课程主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构,进而实现硅基MEMS芯片的大规模批量制造,来系统讲解硅基MEMS制造技术:从单项MEMS制造关键工艺到MEMS制造工艺模块,再到典型MEMS芯片制造工艺流程。 课程提纲: 1. MEMS技术发展历程; 2. 三维微机械结构湿法和干法腐蚀技术;...
在迎接2024年科技发展的关键时刻,硅基MEMS制造技术成为了智能设备行业的热点话题。根据最新消息,绍兴文理学院教授王跃林将在2024年10月18日至20日主持的"第66期'见微知著'培训课程"中深入探讨这一技术的发展历程和实用工艺。这次课程不仅将展示硅基MEMS技术的核心思想,还将阐明其如何为未来智能设备注入新的活力。这一...