《GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》是一项国家标准,旨在为基于绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator, SOI)材料的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)器件的设计与制造提供指导。该标准详细规定了使用SOI晶圆作为基底材料时,在MEMS加工过程中应遵循的技术要求、操作步骤及质量...
GB/T 32814-2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf,国家推荐性标准,业内常用技术规范,备之有益。ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32814 2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo — gy Sec
硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 GB_T 32814-2016 32814-2016 硅基 MEMS 制造技术 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范 《GBT32814-2016硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《GBT32814-2016硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf(14页珍藏...
本项目将包括基于SOI硅片的MEMS工艺的工艺流程,环境要求,防控污染要求,安全操作规范,工艺结果控制等方面的规范化内容:(1)工艺流程包括工艺的详细步骤制定;(2)工艺环境要求包括工艺环境的洁净度,温度和湿度等;(3)防控污染要求包括加工材料的清洗以及防钾离子污染等;(4)安全操作规范包括工艺人员培训,排放和配制腐蚀液...
GB/T 32814-2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf,国家推荐性标准,业内常用技术规范,备之有益。ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32814 2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 Silicon-basedMEMSfabricationtechnolo — gy Sec