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而抛光头(head)是cmp机台抛光系统重要的组成部分,那么抛光头是什么呢?有什么用呢? 抛光头的作用? 1,晶圆吸附:抛光头通过真空吸附或机械夹持来达到固定晶圆的目的。抛光过程中晶圆需要保持稳定,不希望发生任何的移动或滑动。这有助于实现精确的抛光控制,从而保证所需的表面平坦度。
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