摘要 一种用于化学机械抛光头的气膜、化学机械抛光头及抛光设备,其中所述气膜形成为包括,用于接收基板的底板;圆环状的边缘侧壁,该边缘侧壁具有沿所述底板的周缘向上延伸形成的直立部、从直立部上端朝上向内折弯延伸后朝上向外折弯延伸形成的弯折部和从所述弯折部上端弯向内侧水平延伸形成的第一水平延伸部;以及与...
一种用于化学机械抛光头的气膜、化学机械抛光头及抛光设备,其中所述气膜形成为包括,用于接收基板的底板;圆环状的边缘侧壁,该边缘侧壁具有沿所述底板的周缘向上延伸形成的直立部、从直立部上端朝上向内折弯延伸后朝上向外折弯延伸形成的弯折部和从所述弯折部上端弯向内侧水平延伸形成的第一水平延伸部;以及与所述边...
一种半导体抛光头橡胶气膜的二次硫化装置专利信息由爱企查专利频道提供,一种半导体抛光头橡胶气膜的二次硫化装置说明:本实用新型公开了一种半导体抛光头橡胶气膜的二次硫化装置,包括硫化箱,所述硫化箱的侧面安装有箱门...专利查询请上爱企查
其中用于晶圆抛光的承载头,包括:气膜组件、端环、保持环和基座;所述端环可拆卸地安装于所述基座与所述保持环间,所述气膜组件与所述基座连接,且所述气膜组件位于所述端环和所述保持环内,所述气膜组件与所述端环和所述保持环之间存在间隙;所述气膜组件,用于在对晶圆进行抛光时,将晶圆抵接在抛光垫上;所述端环...
集微网消息 众所周知,随着国产替代效益,国内半导体材料和设备颇受市场欢迎,尤其是近两年来,A股不少材料和设备厂商业绩都大好。昊华科技于7月7日表示,公司所属西北院正在研发相关电子信息产品。此外,半导体气膜用于半导体芯片加工设备CMP设备上,目前销量较好。 据悉,电子化学品业务方面,公司将重点发展含氟电子气体,巩固...