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抛光头(head)是化学机械研磨（cmp）机台抛光系统的核心组成部分，它在抛光过程中扮演着至关重要的角色。抛光头主要负责吸附晶圆、施加压力、带动晶圆旋转以及集成终点检测系统等功能，以实现晶圆表面材料的均匀去除和表面平坦度的精确控制。首先，抛光头通过真空吸附或机械夹持方式固定晶圆，确保抛光过程中晶圆...
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