定向自组装光刻（Directed Self-Assembly ，DSA）是诱导光刻材料在硅片上自发形成有序结构的一种技术。自组装（self-assembly），是指基本结构单元（分子，纳米材料，微米或更大尺度的物质）自发形成有序结构的一种技术。在自组装的过程中，基本结构单元在基于非共价键的相互作用下自发的组织或聚集为一个稳定、具有一定...
定向自组装（DSA）通常被描述为共聚物材料自组装以在半导体衬底上形成纳米级分辨率图案的过程。虽然这是一个准确的描述，但它并没有提供太多细节来说明这一过程是如何完成的，以及为什么这些共聚物材料会以这种方式表现。对这一过程进行一些简化的解释有助于理解DSA技术如何有利于CD分辨率并为较低的制程工艺节点提供修复。
Brewer Science首席技术官Rama Puligadda表示:“DSA即将回归 。” “但以一种非常不同的形式。它被用来辅助EUV,不是为了改进间距,而是为了矫正线条。” 定向自组装(DSA)通常被描述为共聚物材料自组装以在半导体基板上形成纳米级分辨率图案的过程。虽然这是一个准确的描述,但它没有提供有关如何完成此过程以及为什么这些...
定向自组装(DSA)通常被描述为共聚物材料自组装以在半导体衬底上形成纳米级分辨率图案的过程。虽然这是一个准确的描述,但它并没有提供太多细节来说明这一过程是如何完成的,以及为什么这些共聚物材料会以这种方式表现。对这一过程进行一些简化的解释有助于理解DSA技术如何有利于CD分辨率并为较低的制程工艺节点提供修复。
定向自组装(DSA)通常被描述为共聚物材料自组装以在半导体衬底上形成纳米级分辨率图案的过程。虽然这是一个准确的描述,但它并没有提供太多细节来说明这一过程是如何完成的,以及为什么这些共聚物材料会以这种方式表现。对这一过程进行一些简化的解释有助于理解DSA技术如何有利于CD分辨率并为较低的制程工艺节点提供修复。
在Skjonnemand看来,最大的挑战在于,如要采用定向自组装,整个系统需要完美对准,因为结构中的任何微小缺陷都可能导致晶体管故障。而且,由于电路中有数十亿个晶体管,因此系统需要在分子级上达到几乎完美的状态。 “我们将采取非常规措施来实现这一目标。”他继续说,“通过在半导体工厂中对化学品进行最佳清洁,以及谨慎处理...
对于定向自组装技术热潮的重新出现来说,这是一个激动人心的时刻。DSA为193nm光刻和EUV光刻的较低节点的图案校正提供了一种可行的制造工艺,因为缺陷率正在降低,新的计量选项上线。最吸引人的是,它可以在不必购买EUV光刻机的情况下扩展193nm光刻。 在十年前有了一个充满希望的开端,随后在实验室里经历了多年的煎熬之...
定向自组装是指利用化学反应使分子原位地自发地结合成具有一定空间结构和功能的大分子体系的过程。它是在自组装基础上发展起来的一种新型纳米材料合成技术。相比于传统的合成技术,定向自组装技术有以下优点: 1.学科交叉:它涉及到了化学、材料科学、物理学等多个学科的研究成果,可以加速各个领域之间的知识交流和深度合作...
金属有机框架、DNA折叠和蛋白质的自组装都是将构造单元的几何结构放大到对应中尺度有序结构的最佳范例。近年来,聚合物框架结构由于其广泛地应用前景而引起了人们密切的关注。研究者们通过计算模拟和实验研究,在 几何效应 或各向异性相互作用驱动下,得到了许多传统聚合物所无法达到的周期性组装结构。然而,目前所报道的...