定向自组装光刻（Directed Self-Assembly ，DSA）是诱导光刻材料在硅片上自发形成有序结构的一种技术。自组装（self-assembly），是指基本结构单元（分子，纳米材料，微米或更大尺度的物质）自发形成有序结构的一种技术。在自组装的过程中，基本结构单元在基于非共价键的相互作用下自发的组织或聚集为一个稳定、具有一定...
对于定向自组装技术热潮的重新出现来说，这是一个激动人心的时刻。DSA为193nm光刻和EUV光刻的较低节点的图案校正提供了一种可行的制造工艺，因为缺陷率正在降低，新的计量选项上线。最吸引人的是，它可以在不必购买EUV光刻机的情况下扩展193nm光刻。在十年前有了一个充满希望的开端，随后在实验室里经历了多年的煎熬...
“让我们举个例子。”Skjonnemand解释说,“如果我们希望制作一条40纳米的细线——这是传统投影技术很难制造的,我们可以使用普通投影技术制造一条120纳米的导向结构,并对准其中的三条40纳米分线。因此,材料将承担最困难的精细构图任务。我们将整个方法称为‘定向自组装’。” 由于在定向自组装中使用传统的光刻技术,...
imec的研发团队负责人Hyo Seon Suh表示:“对DSA的普遍批评是,由于结构的自组装性质,很难控制缺陷。”“但EUV中的随机缺陷也很难控制,这就是为什么许多行业和我们的核心芯片制造商合作伙伴再次将DSA视为纠正随机问题的可行选择。” 英特尔发言人还表示,该公司目前正在开发几种利用定向自组装(DSA)的集成工艺流程。“我...
近日,程正迪(Stephen Z. D. Cheng)院士团队通过精准调控一种T形的“聚合物-棒-球”两亲性分子自组装,制备了可溶液加工且热稳定的聚合物框架,并结合微观表征、真实空间和互逆空间的散射实验以及分子模拟对聚合物框架形成的机理进行了深入探讨。该项工作以题为“Geometry Directed Self-Assembly towards Polymeric Mo...
定向自组装(DSA)通常被描述为共聚物材料自组装以在半导体基板上形成纳米级分辨率图案的过程。虽然这是一个准确的描述,但它没有提供有关如何完成此过程以及为什么这些共聚物材料会产生这样的行为的详细信息。对该过程进行稍微简化的解释有助于理解 DSA 技术如何使关键尺寸(Critical Dimension,简称CD) 分辨率受益并为较低节...
对于定向自组装技术热潮的重新出现来说,这是一个激动人心的时刻。DSA为193nm光刻和EUV光刻的较低节点的图案校正提供了一种可行的制造工艺,因为缺陷率正在降低,新的计量选项上线。最吸引人的是,它可以在不必购买EUV光刻机的情况下扩展193nm光刻。 在十年前有了一个充满希望的开端,随后在实验室里经历了多年的煎熬之...
定向自组装(DSA)通常被描述为共聚物材料自组装以在半导体衬底上形成纳米级分辨率图案的过程。虽然这是一个准确的描述,但它并没有提供太多细节来说明这一过程是如何完成的,以及为什么这些共聚物材料会以这种方式表现。对这一过程进行一些简化的解释有助于理解DSA技术如何有利于CD分辨率并为较低的制程工艺节点提供修复。
微纳制造技术:定向自组装(DSA)终于找到了立足点 英特尔的发言人表示,该公司目前正在寻求多种利用定向自组装(DSA)的集成工艺流程。“我们在 SPIE 等会议上公开讨论过的一个工艺流程是使用 DSA 进行 EUV 光刻胶校正。DSA 可以从根本上 发表于 08-22 18:11 •3530次阅读 揭秘集成电路制造的“黑科技”:三束...