out-of-plane指的就是晶格ab面外的xrd图像，这是用于检测多层膜三明治结构的物质
1)In plane (平面内) 测量与样品表面近垂直的晶面(入射角度<1°),2θ单独连续扫描 2)Out of plane (平面外) 测量与样品表面近平行的晶面2θ/θ(2θ/ω)扫描( 二、小角掠入射的特点 1)由于入射角很小,X射线和材料的作用区域较大,提高了X射线对表层信息检测的灵敏性,可以避免来自衬底的强烈信号,特别适...
薄膜中分子或分子链通常是有取向的,而常规XRD只能观测到面外方向的结晶结构;而GIXRD可以得到薄膜的三维结构信息。如图2,X射线以非常小的角度入射,在探测器平面的qz方向投影出射线的反射和面外掠入射衍射(out of plane, OP),在qall方向(即qxy方向)投影出X射线的面内掠入射衍射(in plane,IP),即可反映薄膜的三维...
2.1 晶粒取向测定 100Intensity (cps)Intensity (cps)8060402002030400221400In Plane12001000800600400200020111Out of Plane1113115060400133422708090220 113 004 331224304050607080902?c/f 15、(degree)2?/w (degree)(022)择优取向 ( 111) 择优取向 薄膜中晶粒取向测量薄膜中晶粒取向测量(玻璃上的多晶硅薄膜玻璃上的多晶硅...
掠入射 XRD GIXRD(掠入射 X 射线衍射) 一、 两种方式[1, 2] 1) In plane (平面内) 测量与样品表面近垂直的晶面(入射角度<1° ), 2θ 单独连续扫描 2) Out of plane (平面外) 测量与样品表面近平行的晶面 2θ /θ (2θ /ω ) 扫描( 二、 小角掠入射的特点 1) 由于入射角很小, X 射线和...
一般的xrd都是对称扫描，反射面是平行于样品表面的晶面，测得是out-of-plane的晶格常数。如果要测in-...
011.1X射线介绍021.2X射线衍射与布拉格方程 031.3衍射线的强度 1.1X射线介绍 •1895年德国物理学家伦琴（W.C.Roentgen）研究阴极射线管时，发现阴极管能放出一种有穿透力的肉眼看不见的射线。由于它的本质在当时是一个“未知数”，故称之为X射线。•1896年，伦琴将他的发现和初步的研究结果写了一篇论文...
全光路元件可實體自動光路校正 可選配9kW高功率旋靶式X光管或3kW固定靶材X光管 CBO多功能自動選擇光學系統 高精度薄膜測定功能: X光反射率, Rocking-Curve, in plane XRD, 倒置格點量測, GIXRD, GISAXS, XRT 獨家偵測器球面五軸運動In-Plane光學系統無需重新校正光路 ...
No.7,ppl995—19972010年7月SpectroscopyandSpectralAnalysisJuly,2010XRD法计算4H-SiC外延单晶中的位错密度贾仁需,张玉明’,张义门,郭辉西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,陕西西安710071摘要对用x射线衍射法计算4H—SiC外延中的位错密度方法进行了理论和实验研究。材料中的位错密度大于...