一、技术原理与创新性 SSMB-EUV(稳态微聚束极紫外光源)结合了同步辐射和自由电子激光技术,通过电子在加速器中的周期性运动产生高能光子。其核心在于“稳态微聚束”机制,通过精密控制电子束的相位和能量分布,形成稳定且高密度的微聚束结构。这种设计使光源能够输出单色性极好的连续波相干光...
目前，清华大学在SSMB EUV光刻技术方面已经取得了多项重要进展，其研究成果领先世界。研究团队不仅成功验证了SSMB技术的可行性，还积极推动该技术的产业化应用。他们已向国家发改委提交“稳态微聚束极紫外光源研究装置”的项目建议书，计划在雄安新区建设基于SSMB原理的EUV光源装置，用于技术验证、应用开发和人才培养。
这段时间发酵的中国光刻机SSMB-EUV方案,大家都着重在同步辐射光源和自有电子激光,其实这些东西都是占比很小的部分,真正的受益者是首钢股份!! 我们先来看SSMB-EUV方案是什么。 一、SSMB技术:整合两种光源优势,或能用于改良EUV光源 该论文报告了一种新型粒子加速器光源稳态微束(SSMB)的首个原理验证实验,展示了同步...
并且根据今年年初官方的消息,SSMB-EUV光源落户雄安。 其实早期的极紫外光也是靠大型电子加速器获取的,但是为了将EUV光刻机商品化,所以对EUV光源进行了小型化改造,所以其技术难度也很高。 当然,有了SSMB-EUV光源,不意味着传统的EUV光源我们就不搞了。例如,头一段时间,长春光机所公开了一批省科技奖提名项目,其中有五...
6、清华大学的SSMB-EUV光刻方案。各类EUV光源特点 先来说说SSMB光源，SSMB光源是其中的电子在接近光速的情况下，在磁场中偏转，会在切线方向发出电磁辐射，电子在加速器里因为磁场约束绕圈，一秒能几百万圈，相当于存储在环里，一边绕一边发射电磁波。由于电子速度非常高，数量不少，能量也就不低，发出的电磁波就很多...
而清华大学的SSMB-EUV光源，输出功率高达10 W，相当于ASML公司250 W EUV光源的四十倍以上，可以一次为几十台光刻设备提供电源，相当于一家大规模生产EUV光刻机的厂家。有人说，这不是一台光刻机，而是一台光刻炮！这种巨型设备是通过高频微波发射出一条数百纳米长的电子束。电子束在一个线性加速器空腔内被加速...
SSMB-EUV光源:科学与应用的新篇章 稳态微聚束加速器光源(SSMB-EUV)是一种创新的光源技术,通过激光操控储存环中的电子,形成具有精微纵向/时间结构的电子束团,即微聚束。这种技术结合了微聚束辐射的强相干特性与储存环内电子束的高回旋频率特性,从而提供高平均功率、窄带宽的相干辐射,波段覆盖从太赫兹到软X射线。这...
杨振宁先生作为中国物理学的泰斗之一，以其回国与贡献、对粒子对撞机项目的看法、SSMB-EUV方案的介绍以及辗转半生与物理学界的未来等方面的贡献，对于中国物理学的发展起到了重要的推动作用。他的辛勤付出和对学生的培养，为中国物理学事业注入了新的活力，并为中国的科技事业作出了卓越贡献。正是因为有了泰斗的存在和...
清华大学研究的新型 SSMB-EUV 光刻技术,用于提供高强度、 可调波长的极紫外光源。 方案中的同步轨道如图所示,密度分布非常均匀的稳流电子束被导入同步轨道。 同步轨道上存在磁感应强度为B的匀强磁场,电子在磁场控制下沿着固定半径的轨道做匀速圆周运动,每转一周,穿越一次加速腔,从中获得能量,如图所示。 同步加速器...
唐传祥教授表示：“基于SSMB的EUV光源有望实现更大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力。”我们认为清华大学在SSMB光源技术上的研究成果为大功率EUV光源的突破提供了全新的解决思路，有望加速国产光刻技术领域攻关，建议关注国产光刻机产业链。以上内容仅供学习交流，不构成投资建议。精选报告来源：远瞻智库 ...