面对这一现状，中国芯片产业迫切需要自主研发EUV光刻机，以打破国外技术封锁和垄断。SSMB技术的出现，为这一目标的实现提供了新的可能。SSMB光源能够产生高强度、窄带宽、相干的EUV光，不仅满足了EUV光刻机对光源的苛刻要求，还具备低成本、高稳定、长寿命等显著优势。### 技术优势与应用前景 SSMB EUV光刻机相比传统...
这段时间发酵的中国光刻机SSMB-EUV方案,大家都着重在同步辐射光源和自有电子激光,其实这些东西都是占比很小的部分,真正的受益者是首钢股份!! 我们先来看SSMB-EUV方案是什么。 一、SSMB技术:整合两种光源优势,或能用于改良EUV光源 该论文报告了一种新型粒子加速器光源稳态微束(SSMB)的首个原理验证实验,展示了同步...
最后一个方案则是路线最为创新、最为颠覆性的加速器光源SSMB-EUV,即稳态微聚束极紫外光源路线,由清华大学主导。 加速器光源主要包括基于电子储存环的同步辐射SR和基于电子直线加速器自由电子激光FEL两种。我们知道EUV光刻对光源的有4方面要求:高平均功率,这样曝光速度快,利于提高生产效率;高亮度,可以降低对光刻胶的...
众所周知，ASML公司的EUV光刻机采用的是小型光源，由于光刻机主要用于销售，需要考虑到运输问题，因此其整体体积并不太大。至于外形大小，我们不必担心，只要能满足需求就行了。而清华大学的SSMB-EUV光源，输出功率高达10 W，相当于ASML公司250 W EUV光源的四十倍以上，可以一次为几十台光刻设备提供电源，相当于一家...
清华大学的这个SSMB-EUV光源,功率达到了10千瓦,是ASML EUV光源250瓦功率的40倍,能够同时支持数十台光刻机,换句话说,一个大型的EUV光刻机工厂出现了。想象那个画面,都挺美好的。对此,有网友评论的非常有趣,由步枪变成了机关枪,还有网友说这哪是光刻机,这是光刻炮啊!
SSMB-EUV根本..今天忽然注意到,这种机器发出的是相干光。相干光是无法做光刻机的光源的,所以不要再想东想西了,没戏的!退相干太难了。要不然EUV也不会从提出到落地用了这么多年。其实咱们的激光光源技术还是挺行的,但是光纤
SSMB是一条新路,但还取代不了EUV光刻机 直到今天,麒麟9000s到底是怎么来的依然是一个谜,这也导致了国内外的各种猜想不断,前段时间,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。
其中，SSMB EUV光刻机是近年来备受关注的一种光刻技术。SSMB EUV光刻机采用了极紫外光（EUV）作为曝光光源，相比传统的紫外光源，EUV光源具有更高的分辨率和更短的波长，能够实现更小尺寸的芯片制造。同时，EUV光刻技术还具有更高的生产效率和更低的成本，因此在半导体制造业中得到了广泛应用。SSMB EUV光刻机的...
近日,清华大学工程物理系唐传祥研究组与其合作团队在《自然》上发表了研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》。文中报告了一种新型粒子加速器光源 “稳态微聚束”(SSMB)技术。唐传祥表示,基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的卡脖子难题。 送TA礼物 1楼2023-09-13 10:20回复 ...
最近几天,随着华为Mate 60的问世,麒麟9000S的热度居高不下。随着这次的突破,大家纷纷猜测,是不是国产光刻机也有了大进展。据报道,清华大学正在搞一个新的EUV光源方案,他就是SSMB-EUV光源。本期视频,我们就来了解一下这个光源是什么,有什么作用。 万大叔 每天解读中国科技的那点事儿 认证作者 已在虎嗅发表 44...